LPE रिएक्टर कारखानाको लागि 8 इन्च हाफमुन भाग

ट्यान्टलम कार्बाइड लेपित प्लानेटरी रोटेशन डिस्क निर्माता

LPE PE2061S आपूर्तिकर्ताको लागि SiC लेपित ब्यारेल ससेप्टर

ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग

VeTek अर्धचालक अर्धचालक उद्योग को लागी Tantalum कार्बाइड कोटिंग सामग्री को एक अग्रणी निर्माता हो। हाम्रो मुख्य उत्पादन प्रस्तावहरूमा CVD ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंग भागहरू, SiC क्रिस्टल वृद्धि वा अर्धचालक एपिटेक्सी प्रक्रियाको लागि sintered TaC कोटिंग भागहरू समावेश छन्। ISO9001 उत्तीर्ण, VeTek सेमीकन्डक्टरको गुणस्तरमा राम्रो नियन्त्रण छ। VeTek सेमीकन्डक्टर चलिरहेको अनुसन्धान र पुनरावृत्ति प्रविधिहरूको विकास मार्फत Tantalum कार्बाइड कोटिंग उद्योगमा आविष्कारक बन्न समर्पित छ।

मुख्य उत्पादनहरू ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग डिफेक्टर रिंग, TaC कोटेड डाइभर्सन रिंग, TaC लेपित हाफमून पार्ट्स, ट्यान्टलम कार्बाइड कोटेड प्लानेटरी रोटेशन डिस्क (Aixtron G10), TaC कोटेड क्रुसिबल हुन्; TaC लेपित रिंगहरू; TaC लेपित छिद्रपूर्ण ग्रेफाइट; ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट ससेप्टर; TaC लेपित गाइड रिंग; TaC Tantalum कार्बाइड लेपित प्लेट; TaC लेपित वेफर ससेप्टर; TaC कोटिंग रिंग; TaC कोटिंग ग्रेफाइट आवरण; TaC लेपित चंक आदि, शुद्धता 5ppm भन्दा कम छ, ग्राहक आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ।

TaC कोटिंग ग्रेफाइट उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेटको सतहमा ट्यान्टलम कार्बाइडको राम्रो तहको साथ स्वामित्व रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रियाद्वारा कोटिंग गरेर सिर्जना गरिएको छ। फाइदा तलको चित्रमा देखाइएको छ:

ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंगले यसको 3880°C सम्मको उच्च पिघलने बिन्दु, उत्कृष्ट मेकानिकल बल, कठोरता, र थर्मल झटकाहरूको प्रतिरोधको कारणले ध्यान आकर्षित गरेको छ, यसले उच्च तापक्रम आवश्यकताहरूको साथ कम्पाउन्ड सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सी प्रक्रियाहरूको लागि आकर्षक विकल्प बनाउँछ, जस्तै Aixtron MOCVD प्रणाली र LPE SiC epitaxy process। PVT विधि SiC क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रियामा यसको व्यापक अनुप्रयोग पनि छ।

VeTek अर्धचालक ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंग को प्यारामिटर:

TaC कोटिंग को भौतिक गुण
घनत्व	14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	६.३ १०-६/के
कठोरता (HK)	2000 HK
प्रतिरोध	१×१०-५ ओम* सेमी
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइट आकार परिवर्तन	-10~-20um
कोटिंग मोटाई	≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)

TaC कोटिंग EDX डेटा

TaC कोटिंग क्रिस्टल संरचना डेटा

तत्व	परमाणु प्रतिशत
	पं. १	पं. २	पं. ३	औसत
सी के	52.10	57.41	52.37	53.96
टा एम	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC कोटिंग चक TaC कोटिंग प्लानेटरी डिस्क TaC लेपित प्लेट TaC कोटिंग रोटेशन प्लेट TaC कोटिंग ससेप्टर CVD TaC कोटिंग कभर CVD TaC कोटिंग रिंग TaC कोटिंग प्लेट

सिलिकन कार्बाइड कोटिंग

VeTek सेमीकन्डक्टर अल्ट्रा शुद्ध सिलिकन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनहरूको उत्पादनमा माहिर छ, यी कोटिंगहरू शुद्ध ग्रेफाइट, सिरेमिक, र अपवर्तक धातु घटकहरूमा लागू गर्न डिजाइन गरिएको हो।

हाम्रो उच्च शुद्धता कोटिंग्स मुख्य रूपमा अर्धचालक र इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगहरूमा प्रयोगको लागि लक्षित छन्। तिनीहरूले MOCVD र EPI जस्ता प्रक्रियाहरूमा सामना गर्ने संक्षारक र प्रतिक्रियाशील वातावरणहरूबाट सुरक्षित राख्दै वेफर क्यारियरहरू, ससेप्टरहरू र तताउने तत्वहरूको लागि सुरक्षात्मक तहको रूपमा सेवा गर्छन्। यी प्रक्रियाहरू वेफर प्रशोधन र उपकरण निर्माणको अभिन्न अंग हुन्। थप रूपमा, हाम्रा कोटिंगहरू भ्याकुम भट्टीहरू र नमूना तताउने अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त छन्, जहाँ उच्च भ्याकुम, प्रतिक्रियाशील, र अक्सिजन वातावरणहरू सामना गरिन्छ।

VeTek Semiconductor मा, हामी हाम्रो उन्नत मेसिन पसल क्षमताहरु संग एक व्यापक समाधान प्रदान गर्दछौं। यसले हामीलाई ग्रेफाइट, सिरेमिक, वा अपवर्तक धातुहरू प्रयोग गरेर आधार घटकहरू निर्माण गर्न र घरभित्र SiC वा TaC सिरेमिक कोटिंगहरू लागू गर्न सक्षम बनाउँछ। हामी विभिन्न आवश्यकताहरू पूरा गर्न लचिलोपन सुनिश्चित गर्दै, ग्राहक-आपूर्ति गरिएका भागहरूको लागि कोटिंग सेवाहरू पनि प्रदान गर्दछौं।

हाम्रो सिलिकन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनहरू Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD प्रणाली, RTP/RTA प्रक्रिया, नक्काशी प्रक्रिया, ICP/PSS नक्काशी प्रक्रिया, नीलो र हरियो एलईडी, UV LED र गहिरो-UV सहित विभिन्न LED प्रकारहरूको प्रक्रियामा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। LED आदि, जुन LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI र यस्तै अन्य उपकरणहरूमा अनुकूलित छ।

रिएक्टर भागहरु हामीले गर्न सक्छौं:

सिलिकन कार्बाइड कोटिंग धेरै अद्वितीय फाइदाहरु:

VeTek अर्धचालक सिलिकन कार्बाइड कोटिंग प्यारामिटर:

CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण
सम्पत्ति	सामान्य मान
क्रिस्टल संरचना	FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख
घनत्व	३.२१ ग्राम/सेमी³
कठोरता	2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज साइज	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	९९.९९९९५%
गर्मी क्षमता	640 J·kg-1·K-1
उदात्तीकरण तापमान	2700 ℃
लचिलो शक्ति	415 MPa RT 4-बिन्दु
युवाको मोडुलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता	300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K-1

विशेष उत्पादनहरू

हाम्रोबारे

VeTek अर्धचालक टेक्नोलोजी कं, LTD, 2016 मा स्थापित, सेमीकन्डक्टर उद्योगको लागि उन्नत कोटिंग सामग्रीको एक अग्रणी प्रदायक हो। हाम्रा संस्थापक, चाइनिज एकेडेमी अफ साइन्सेज इन्स्टिच्युट अफ मटेरियलका पूर्व विज्ञले उद्योगका लागि अत्याधुनिक समाधानहरू विकास गर्ने कुरामा केन्द्रित भएर कम्पनी स्थापना गर्नुभयो।

हाम्रो मुख्य उत्पादन प्रस्तावहरू समावेश छन्CVD सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग्स, ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स, थोक SiC, SiC पाउडर, र उच्च शुद्धता SiC सामग्री। मुख्य उत्पादनहरू SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर, प्रिहिट रिंगहरू, TaC लेपित डाइभर्सन रिंग, हाफमून पार्ट्स, आदि हुन्, शुद्धता 5ppm भन्दा कम छ, ग्राहक आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ।

थप पढ्नुहोस्