ठोस SiC इचिङ फोकसिङ रिंग

VeTek सेमीकन्डक्टर चीनको एक अग्रणी ठोस SiC Etching फोकसिङ रिङ निर्माता र आविष्कारक हो। हामी धेरै वर्षदेखि SiC सामग्रीमा विशेषज्ञता भएका छौं। यसको उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च मेकानिकल बल र प्लाज्माको प्रतिरोधका कारण ठोस SiC लाई फोकस गर्ने औंठी सामग्रीको रूपमा छनोट गरिएको छ। erosion.हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

तपाईं हाम्रो कारखानाबाट ठोस SiC Etching फोकसिङ रिंग किन्नको लागि आश्वस्त हुन सक्नुहुन्छ। VeTek सेमीकन्डक्टरको क्रान्तिकारी प्रविधिले ठोस SiC Etching फोकसिङ रिङको उत्पादनलाई सक्षम बनाउँछ, एक अल्ट्रा-उच्च शुद्धता सिलिकन कार्बाइड सामग्री रासायनिक वाष्प निक्षेपको प्रक्रियाबाट सिर्जना गरिएको हो।

ठोस SiC नक्काशी फोकस रिंग सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ, विशेष गरी प्लाज्मा नक्काशी प्रणालीहरूमा। ठोस SiC इचिङ फोकस गर्ने घण्टी एउटा महत्त्वपूर्ण कम्पोनेन्ट हो जसले सिलिकन कार्बाइड (SiC) वेफर्सको सटीक र नियन्त्रित नक्काशी प्राप्त गर्न मद्दत गर्छ।

प्लाज्मा नक्काशी प्रक्रियाको समयमा, फोकस गर्ने औंठीले धेरै भूमिका खेल्छ:

1. प्लाज्मा फोकस गर्दै: ठोस SiC नक्काशी फोकस गर्ने घण्टीले वेफरको वरिपरि प्लाज्मालाई आकार दिन र केन्द्रित गर्न मद्दत गर्दछ, नक्काशी प्रक्रिया समान र प्रभावकारी रूपमा हुन्छ भन्ने सुनिश्चित गर्दै। यसले प्लाज्मालाई वांछित क्षेत्रमा सीमित गर्न मद्दत गर्दछ, आवारा नक्काशी वा वरपरका क्षेत्रहरूमा क्षति हुनबाट रोक्न।

2. चेम्बरको पर्खालहरू सुरक्षित गर्दै: फोकस गर्ने औंठीले प्लाज्मा र चेम्बरको पर्खालहरू बीचको अवरोधको रूपमा काम गर्दछ, प्रत्यक्ष सम्पर्क र सम्भावित क्षतिलाई रोक्छ। SiC प्लाज्मा क्षरणको लागि अत्यधिक प्रतिरोधी छ र चेम्बर पर्खालहरूको लागि उत्कृष्ट सुरक्षा प्रदान गर्दछ।

3. तापक्रम नियन्त्रण: फोकस गर्ने घण्टीले नक्काशी प्रक्रियाको क्रममा वेफरमा समान तापक्रम वितरण कायम राख्न मद्दत गर्दछ। यसले गर्मी फैलाउन मद्दत गर्दछ र नक्काशी परिणामहरूलाई असर गर्न सक्ने स्थानीयकृत ओभरहेटिंग वा थर्मल ढाँचाहरूलाई रोक्छ।

ठोस SiC यसको उत्कृष्ट थर्मल र रासायनिक स्थिरता, उच्च मेकानिकल बल, र प्लाज्मा क्षरण प्रतिरोधको कारणले फोकस गर्ने घण्टीहरूको लागि छनोट गरिएको छ। यी गुणहरूले SiC लाई प्लाज्मा नक्काशी प्रणाली भित्र कठोर र माग गर्ने अवस्थाहरूको लागि उपयुक्त सामग्री बनाउँछ।

यो ध्यान दिन लायक छ कि फोकस गर्ने घण्टीहरूको डिजाइन र विशिष्टताहरू विशिष्ट प्लाज्मा एचिंग प्रणाली र प्रक्रिया आवश्यकताहरूको आधारमा भिन्न हुन सक्छन्। VeTek सेमीकन्डक्टरले इष्टतम नक्काशी कार्यसम्पादन र दीर्घायु सुनिश्चित गर्न फोकस गर्ने घण्टीहरूको आकार, आयाम र सतह विशेषताहरूलाई अप्टिमाइज गर्छ। ठोस SiC व्यापक रूपमा वेफर क्यारियरहरू, ससेप्टरहरू, डमी वेफर, गाईड रिङ्हरू, नक्काशी प्रक्रियाका लागि भागहरू, CVD प्रक्रिया, आदिका लागि प्रयोग गरिन्छ।

ठोस SiC इचिङ फोकसिङ रिङको उत्पादन प्यारामिटर

ठोस SiC को भौतिक गुण
घनत्व	3.21	g/cm3
बिजुली प्रतिरोधात्मकता	102	Ω/सेमी
लचिलो शक्ति	590	MPa	(6000kgf/cm2)
युवा मोडलस	450	GPa	(6000kgf/mm2)
विकर्स कठोरता	26	GPa	(2650kgf/mm2)
C.T.E.(RT-1000℃)	4.0	x10-6/K
थर्मल चालकता (RT)	250	W/mK