VeTek सेमीकन्डक्टर CVD SiC कोटिंग ग्रेफाइट ससेप्टर सेमीकन्डक्टर उद्योगमा एपिटेक्सियल वृद्धि र वेफर प्रशोधन जस्ता महत्त्वपूर्ण घटकहरू मध्ये एक हो। यो MOCVD र अन्य उपकरणहरूमा वेफर्स र अन्य उच्च परिशुद्धता सामग्रीहरूको प्रशोधन र ह्यान्डलिङ समर्थन गर्न प्रयोग गरिन्छ। VeTek सेमीकन्डक्टरसँग चीनको अग्रणी SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर र TaC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर उत्पादन र उत्पादन क्षमताहरू छन्, र तपाईंको परामर्शको लागि तत्पर छ।
CVD SiC कोटिंग ग्रेफाइट ससेप्टर विशेष रूपमा सेमीकन्डक्टर उद्योगमा उच्च-परिशुद्धता निर्माणको लागि डिजाइन गरिएको हो। ग्रेफाइट सब्सट्रेट CVD प्रक्रिया द्वारा उच्च-शुद्धता SiC तहको साथ लेपित छ, जसमा उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध र अक्सीकरण प्रतिरोध छ, र उच्च तापमान र भ्याकुम वातावरणमा लामो समयको लागि स्थिर रूपमा सञ्चालन गर्न सक्छ। यो पेडेस्टल MOCVD, PECVD, PVD र अन्य उपकरणहरूमा वेफर्स र अन्य उच्च-परिशुद्धता सामग्रीहरूको प्रशोधन र ह्यान्डलिङलाई समर्थन गर्न व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।
● उच्च तापमान स्थिरता: उच्च शुद्धता ग्रेफाइट आफैंमा उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता छ। SiC कोटिंगको साथ लेपित भएपछि, यसले उच्च तापक्रम चरम वातावरणको सामना गर्न सक्छ र अर्धचालक प्रशोधनमा उच्च तापमान प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त छ।
● कोरोसआयन प्रतिरोध: CVD SiC कोटिंग एसिड र क्षार क्षरण प्रतिरोधी छ र CVD प्रक्रियामा लामो सेवा जीवन हुन सक्छ।
● उच्च hआर्द्रता र ओक्सीकरण प्रतिरोध: CVD SiC कोटिंगमा उत्कृष्ट कठोरता, स्क्र्याच प्रतिरोध, र सामग्रीको स्थिरता कायम राख्न उच्च तापमानमा अक्सीकरण प्रतिरोध छ।
● राम्रो थर्मल चालकता: ग्रेफाइट सब्सट्रेट र CVD SiC कोटिंग ससेप्टरको संयोजनले आधारलाई उत्कृष्ट थर्मल चालकता बनाउँछ, जसले प्रभावकारी रूपमा गर्मी सञ्चालन गर्न र उत्पादन दक्षता सुधार गर्न सक्छ।
● सामग्री: ग्रेफाइट सब्सट्रेट + CVD SiC कोटिंग
● कोटिंग मोटाई: ग्राहक आवश्यकता अनुसार अनुकूलित गर्न सकिन्छ
● लागू वातावरण: उच्च तापमान, भ्याकुम, संक्षारक ग्यास वातावरण
हामी ग्राहकहरूको विभिन्न उपकरण र प्रक्रियाहरूको आवश्यकताहरू पूरा गर्न उच्च अनुकूलित सेवाहरू प्रदान गर्दछौं। ग्राहकको विशिष्ट अनुप्रयोग अनुसार, विभिन्न कोटिंग मोटाई, सतह उपचार र सटीक स्तर संग ग्रेफाइट आधारहरू प्रदान गर्न सकिन्छ।
VeTekSemi ले सधैं CVD सिलिकन कार्बाइड कोटिंग उद्योगमा काम गरिरहेको छ र उद्योगको अग्रणी CVD SiC कोटिंग ग्रेफाइट आधार उत्पादन र उत्पादन स्तर छ। यदि तपाईंलाई थप उत्पादन जानकारी वा अनुकूलित सेवाहरू चाहिन्छ भने, कृपया VeTek सेमीकन्डक्टरलाई सम्पर्क गर्नुहोस्, हामी तपाईंलाई पूर्ण हृदयले व्यावसायिक समर्थन प्रदान गर्नेछौं।