VeTek सेमीकन्डक्टर सिलिकन अन इन्सुलेटर वेफर, ALD प्लानेटरी बेस, र TaC कोटेड ग्रेफाइट बेसको व्यावसायिक चिनियाँ निर्माता हो। VeTek सेमीकन्डक्टरको सिलिकन अन इन्सुलेटर वेफर एक महत्त्वपूर्ण अर्धचालक सब्सट्रेट सामग्री हो, र यसको उत्कृष्ट उत्पादन विशेषताहरूले यसलाई उच्च-प्रदर्शन, कम-शक्ति, उच्च-एकीकरण र RF अनुप्रयोगहरूमा मुख्य भूमिका खेल्न बनाउँछ। हामी तपाईसँग थप सहयोगको लागि तत्पर छौं।
को कार्य सिद्धान्तVeTek अर्धचालककोसिलिकन अन इन्सुलेटर वेफरमुख्यतया यसको अद्वितीय संरचना र भौतिक गुणहरूमा निर्भर गर्दछ। र SOI वेफरतीन तहहरू मिलेर बनेका छन्: माथिल्लो तह एकल-क्रिस्टल सिलिकन उपकरण तह हो, बीचमा इन्सुलेट गर्ने बरिड ओक्साइड (BOX) तह हो, र तल्लो तह समर्थन गर्ने सिलिकन सब्सट्रेट हो।
इन्सुलेटर वेफर्स (SOI) मा सिलिकन को संरचना
इन्सुलेशन तह को गठन: सिलिकन अन इन्सुलेटर वेफर सामान्यतया Smart Cut™ टेक्नोलोजी वा SIMOX (Implanted Oxygen द्वारा अलग) प्रविधि प्रयोग गरी निर्मित हुन्छ। Smart Cut™ प्रविधिले हाइड्रोजन आयनहरूलाई सिलिकन वेफरमा इन्जेक्ट गर्छ र बबल तह बनाउनको लागि हाइड्रोजन-इन्जेक्टेड वेफरलाई समर्थन गर्ने सिलिकनमा बाँध्छ।वेफर।
तातो उपचार पछि, हाइड्रोजन-इन्जेक्टेड वेफर बबल तहबाट SOI संरचना बनाउन विभाजित हुन्छ।SIMOX प्रविधिउच्च तापक्रममा सिलिकन अक्साइड तह बनाउन सिलिकन वेफर्समा उच्च-ऊर्जा अक्सिजन आयनहरू प्रत्यारोपण गर्दछ।
परजीवी क्षमता घटाउनुहोस्: को बक्स तहसिलिकन कार्बाइड वेफरप्रभावकारी रूपमा उपकरण तह र आधार सिलिकन अलग गर्दछ, उल्लेखनीय रूपमा घटाउँछg परजीवी क्षमता। यो अलगावले पावर खपत घटाउँछ र यन्त्रको गति र कार्यसम्पादन बढाउँछ।
लच-अप प्रभावहरूबाट बच्नुहोस्: मा n-वेल र p-वेल यन्त्रहरूSOI वेफरपरम्परागत CMOS संरचनाहरूमा लच-अप प्रभावलाई बेवास्ता गर्दै, पूर्ण रूपमा अलग गरिएको छ। यसले अनुमति दिन्छवेफर SOI उच्च गतिमा उत्पादन गर्न।
Etch स्टप प्रकार्य: दएकल क्रिस्टल सिलिकन उपकरण तहर SOI वेफरको BOX लेयर ढाँचाले MEMS र अप्टोइलेक्ट्रोनिक उपकरणहरूको निर्माणलाई सहज बनाउँछ, उत्कृष्ट ईच स्टप प्रकार्य प्रदान गर्दछ।
यी विशेषताहरू मार्फत,इन्सुलेटर वेफरमा सिलिकनअर्धचालक प्रशोधनमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ र एकीकृत सर्किट (आईसी) को निरन्तर विकासलाई बढावा दिन्छ रमाइक्रो इलेक्ट्रोमेकानिकल प्रणाली (MEMS)उद्योगहरु। हामी तपाईसँग थप सञ्चार र सहयोगको लागि ईमानदारीपूर्वक तत्पर छौं।
200mm SOl वेफर्स विशिष्टता प्यारामिटर:
200 मिमी SOl वेफर्स विनिर्देश |
||
छैन |
विवरण |
मूल्य |
यन्त्र सिलिकन तह | ||
1.1 |
मोटाई |
220 nm +/-10 nm |
1.2 |
उत्पादन विधि |
CZ |
1.3 |
क्रिस्टल अभिमुखीकरण |
<100> |
1.4 | चालकता प्रकार | p |
1.5 | डोपन्ट |
बोरोन |
1.6 |
प्रतिरोधात्मकता औसत |
8.5 - 11.5 0hm*cm |
1.7 |
RMS (2x2 um) |
<०.२ |
1.8 |
LPD (आकार>0.2um) |
<75 |
1.9 |
०.८ माइक्रोन भन्दा ठूला दोष (क्षेत्र) |
<25 |
1.10 |
एज चिप, स्क्र्याच, क्र्याक, डिम्पल/पिट, हेज, सुन्तलाको बोक्रा (दृश्य निरीक्षण) |
0 |
1.11 |
बन्धन शून्य: दृश्य निरीक्षण> ०.५ मिमी व्यास |
0 |
सिलिकन अन इन्सुलेटर वेफर्स उत्पादन पसलहरू: