Aixtron G5 MOCVD ससेप्टर्स

VeTek Semiconductor चीनको एक अग्रणी Aixtron G5 MOCVD ससेप्टर्स निर्माता र आविष्कारक हो। हामी धेरै वर्षदेखि SiC कोटिंग सामग्रीमा विशेषज्ञता भएका छौं। हामीले Aixtron G5 MOCVD रिएक्टरको लागि विशेष रूपमा डिजाइन गरिएको Aixtron G5 MOCVD ससेप्टरहरू प्रस्ताव गर्दछौं। यो Aixtron G5 MOCVD ससेप्टर्स किट यसको इष्टतम आकार, अनुकूलता र उच्च उत्पादकता सहित अर्धचालक निर्माणको लागि बहुमुखी र प्रभावकारी समाधान हो। हामीलाई सोधपुछ गर्न स्वागत छ।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

व्यावसायिक निर्माताको रूपमा, VeTek सेमीकन्डक्टरले तपाईंलाई Aixtron G5 MOCVD ससेप्टरहरू प्रदान गर्न चाहन्छ जस्तै SiC लेपित ग्रेफाइट भागहरू, TaC लेपित ग्रेफाइट भागहरू, ठोस SiC/CVD SiC, क्वार्ट्ज भागहरू। हामीलाई सोधपुछ गर्न स्वागत छ।

Aixtron G5 कम्पाउन्ड सेमीकन्डक्टरहरूको लागि एक निक्षेप प्रणाली हो। AIX G5 MOCVD ले पूर्ण स्वचालित कारट्रिज (C2C) वेफर ट्रान्सफर प्रणालीको साथ उत्पादन ग्राहक प्रमाणित AIXTRON प्लानेटरी रिएक्टर प्लेटफर्म प्रयोग गर्दछ। उद्योगको सबैभन्दा ठूलो एकल गुहा आकार (8 x 6 इन्च) र सबैभन्दा ठूलो उत्पादन क्षमता हासिल गर्यो। यसले उत्कृष्ट उत्पादनको गुणस्तर कायम राख्दै उत्पादन लागत कम गर्न डिजाइन गरिएको लचिलो 6 - र 4-इन्च कन्फिगरेसनहरू प्रदान गर्दछ। न्यानो पर्खाल ग्रह CVD प्रणाली एकल भट्टी मा धेरै प्लेटहरु को वृद्धि द्वारा विशेषता छ, र आउटपुट दक्षता उच्च छ। VeTek सेमीकन्डक्टरले Aixtron G5 MOCVD प्रणालीको लागि सामानहरूको पूर्ण सेट प्रदान गर्दछ, Aixtron G5 MOCVD ससेप्टरहरूले यी सामानहरू समावेश गर्दछ:

थ्रस्ट टुक्रा, एन्टी-रोटेट	वितरण रिंग	छत	होल्डर, छत, इन्सुलेटेड	कभर प्लेट, बाहिरी
कभर प्लेट, भित्री	कभर रिंग	डिस्क	पुलडाउन कभर डिस्क	पिन
पिन-वाशर	प्लानेटरी डिस्क	कलेक्टर इनलेट रिंग ग्याप	निकास कलेक्टर माथिल्लो	शटर
सपोर्टिङ रिंग	समर्थन ट्यूब

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor

CVD SiC कोटिंगको आधारभूत भौतिक गुणहरू:

CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण
सम्पत्ति	सामान्य मान
क्रिस्टल संरचना	FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख
घनत्व	३.२१ ग्राम/सेमी³
कठोरता	2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज साइज	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	९९.९९९९५%
गर्मी क्षमता	640 J·kg-1·K-1
उदात्तीकरण तापमान	2700 ℃
फ्लेक्सरल शक्ति	415 MPa RT 4-बिन्दु
युवाको मोडुलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता	300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K-1