ठोस SiC डिस्क आकारको शावर हेड

VeTek Semiconductor चीन मा एक अग्रणी अर्धचालक उपकरण निर्माता र एक पेशेवर निर्माता र ठोस SiC डिस्क आकारको शावर हेड को आपूर्तिकर्ता हो। हाम्रो डिस्क आकार शावर हेड पातलो फिल्म डिपोजिसन उत्पादनमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ जस्तै CVD प्रक्रिया प्रतिक्रिया ग्यासको समान वितरण सुनिश्चित गर्न र CVD फर्नेसको मुख्य घटकहरू मध्ये एक हो।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

CVD प्रक्रियामा ठोस SiC डिस्क आकारको शावर हेडको भूमिका भनेको डिपोजिसन क्षेत्र माथि प्रतिक्रिया ग्यासलाई समान रूपमा वितरण गर्नु हो ताकि ग्यासलाई समतल र एकसमान फिल्म प्राप्त गर्न रिएक्टरमा समान रूपमा फैलाउन सकिन्छ।

ठोस SiC शावर हेड CVD फर्नेसको शीर्षमा वा ग्यास इनलेटको नजिक सेट गरिएको छ। प्रतिक्रिया ग्यास शावर हेडमा वितरित प्वालहरू मार्फत डिस्क आकारको संरचनामा प्रवेश गर्दछ र शावर हेडको सतहको वरिपरि फैलिन्छ। बहु च्यानल डिजाइन र समान रूपमा वितरित आउटलेटहरू मार्फत, प्रतिक्रिया ग्याँस सम्पूर्ण रिएक्टर क्षेत्रमा समान रूपमा प्रवाह गर्न सक्छ, एकाग्रता वा अशांतिलाई बेवास्ता गर्दै, र सब्सट्रेटमा जम्मा गरिएको तह मोटाईको स्थिरता सुनिश्चित गर्दै।

Solid SiC Disc-shaped Shower Head working diagram

एकै समयमा, सेमीकन्डक्टर डिस्क आकार शावर हेडको संरचनामा पनि एक प्रसार प्रभाव छ, जसले ग्यासको प्रवाह दरलाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्न सक्छ, ताकि यसलाई नोजल आउटलेटमा समान रूपमा फैलाउन सकिन्छ, र स्थानीय ग्यासको प्रभावलाई कम गर्न सकिन्छ। निक्षेप प्रभाव मा प्रवाह परिवर्तन। यसले सब्सट्रेटमा ग्यासको प्रत्यक्ष प्रभावबाट बच्न र असमान जम्मा हुने समस्यालाई रोक्न मद्दत गर्दछ।

सामग्रीको परिप्रेक्ष्यमा, ठोस SiC ग्यास शावर हेड उच्च-तापमान प्रतिरोधी, जंग-प्रतिरोधी, र धेरै उच्च स्थिरताको साथ उच्च-शक्तिको ठोस SiC सामग्रीबाट बनेको छ। यसले CVD फर्नेसमा लामो समयसम्म स्थिर रूपमा काम गर्न सक्छ र लामो सेवा जीवन छ।

VeTek सेमीकन्डक्टरले उच्च गुणस्तरको अनुकूलित सेवाहरू प्रदान गर्दछ। ठोस SiC डिस्क-आकारको शावर हेडको आकार र प्वाल लेआउट ग्राहकको प्रक्रिया आवश्यकताहरू अनुसार विभिन्न ग्याँस प्रकारहरू, प्रवाह दरहरू र निक्षेप सामग्रीहरूमा अनुकूलन गर्न लचिलो रूपमा समायोजन गर्न सकिन्छ। विभिन्न आकारका रिएक्टरहरू वा सब्सट्रेट आकारहरूको लागि, विभिन्न व्यास र प्वाल वितरणहरू भएका डिस्क-आकारको शावर हेडहरू ग्यास वितरण प्रभावलाई अनुकूलन गर्न अनुकूलित गर्न सकिन्छ।

VeTek अर्धचालकसँग ठोस SiC सेमीकन्डक्टर शावर हेड उत्पादनहरूको लागि परिपक्व प्रक्रियाहरू र उन्नत प्रविधिहरू छन्, जसले ठूलो संख्यामा ग्राहकहरूलाई CVD प्रक्रियाहरूमा निरन्तर प्रगति हासिल गर्न मद्दत गर्दछ। VeTek Semiconductor चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छ।

ठोस SiC को भौतिक गुण

ठोस SiC को भौतिक गुण
घनत्व	3.21	g/cm³
बिजुली प्रतिरोधात्मकता	102	Ω/सेमी
फ्लेक्सरल शक्ति	590	Mपा	(6000kgf/cm²)
युवा मोडलस	450	Gपा	(6000kgf/cm²)
विकर्स कठोरता	26	पा	(2650kgf/mm²)
C.T.E.(RT-1000℃)	4.0	x10^-६/के
थर्मल चालकता (RT)	250	W/mK