VeTek सेमीकन्डक्टर चीनको एक अग्रणी ट्यान्टालम कार्बाइड लेपित ग्रह रोटेशन डिस्क निर्माता र आविष्कारक हो। हामी धेरै वर्षदेखि सिरेमिक कोटिंगमा विशेषज्ञता भएका छौं। हाम्रा उत्पादनहरूमा उच्च शुद्धता र उच्च तापक्रम प्रतिरोध छ। हामी तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं। चीन।
उच्च गुणस्तरको ट्यान्टालम कार्बाइड लेपित ग्रह रोटेशन डिस्क चीन निर्माता VeTek सेमीकन्डक्टर द्वारा प्रस्ताव गरिएको छ। किन्नुहोस्ट्यान्टलम कार्बाइड लेपितप्लानेटरी रोटेशन डिस्क जुन कम मूल्यको साथ उच्च गुणस्तरको छ।
ट्यान्टालम कार्बाइड लेपित ग्रह रोटेशन डिस्क AIXTRON G10 MOCVD प्रणालीको लागि डिजाइन गरिएको सहायक उपकरण हो, जसले अर्धचालक निर्माणमा दक्षता र गुणस्तर बढाउने लक्ष्य राख्छ। उच्च गुणस्तरको सामग्रीबाट बनाइएको र परिशुद्धताका साथ निर्मित, ट्यान्टालम कार्बाइड लेपित ग्रह रोटेशन डिस्कले उत्कृष्ट प्रदर्शन र विश्वसनीयता प्रदान गर्दछ।धातु-जैविक रासायनिक वाष्प निक्षेप (MOCVD) प्रक्रियाहरू.
प्लानेटरी डिस्क ग्रेफाइट सब्सट्रेटको साथ लेपित प्रयोग गरेर निर्माण गरिएको छCVD TaC, उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, उच्च शुद्धता, र उच्च तापमान को प्रतिरोध प्रदान।
विभिन्न अर्धचालक वेफर आकारहरू समायोजन गर्न अनुकूलन योग्य, ग्रह डिस्क विभिन्न उत्पादन आवश्यकताहरूको लागि उपयुक्त छ। यसको बलियो निर्माण विशेष गरी MOCVD प्रणालीको माग गरिएको अपरेटिङ सर्तहरू सामना गर्न डिजाइन गरिएको छ, दीर्घकालीन कार्यसम्पादन सुनिश्चित गर्दै र वेफर क्यारियरहरू र ससेप्टरहरूसँग सम्बन्धित डाउनटाइम र मर्मत लागतहरू कम गर्न।
प्लानेटरी डिस्कको साथ, दAIXTRON G10 MOCVD प्रणालीउच्च दक्षता र अर्धचालक निर्माण मा उच्च परिणाम हासिल गर्न सक्नुहुन्छ। यसको असाधारण थर्मल स्थिरता, विभिन्न वेफर आकारहरूसँग अनुकूलता, र भरपर्दो कार्यसम्पादनले यसलाई उत्पादन क्षमतालाई अनुकूलन गर्न र चुनौतीपूर्ण MOCVD वातावरणमा उत्कृष्ट परिणामहरू प्राप्त गर्नको लागि आवश्यक उपकरण बनाउँछ।
TaC कोटिंग को भौतिक गुण | |
Density | 14.3 (g/cm³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | ६.३*१०-६/के |
कठोरता (HK) | 2000 HK |
प्रतिरोध | 1×10-५ओम* सेमी |
थर्मल स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट आकार परिवर्तन | -10~-20um |
कोटिंग मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |