> उत्पादनहरू > सिलिकन कार्बाइड कोटिंग > सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सी

उत्पादनहरू

नयाँ सामानहरू

चीन सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सी निर्माता, आपूर्तिकर्ता, कारखाना

उच्च गुणस्तरको सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सीको तयारी उन्नत प्रविधि र उपकरण र उपकरण सामानहरूमा निर्भर गर्दछ। हाल, सबैभन्दा व्यापक रूपमा प्रयोग हुने सिलिकन कार्बाइड एपिटाक्सी वृद्धि विधि रासायनिक भाप निक्षेप (CVD) हो। यसमा एपिटेक्सियल फिल्म मोटाई र डोपिङ एकाग्रता, कम दोष, मध्यम वृद्धि दर, स्वचालित प्रक्रिया नियन्त्रण, इत्यादिको सटीक नियन्त्रणको फाइदाहरू छन्, र यो एक भरपर्दो प्रविधि हो जुन सफलतापूर्वक व्यावसायिक रूपमा लागू गरिएको छ।

सिलिकन कार्बाइड CVD epitaxy ले सामान्यतया तातो पर्खाल वा न्यानो पर्खाल CVD उपकरणहरू अपनाउछ, जसले उच्च वृद्धि तापमान अवस्था (1500 ~ 1700 ℃), तातो पर्खाल वा न्यानो पर्खाल CVD को विकासको वर्ष पछि अन्तर्गत एपिटाक्सी लेयर 4H क्रिस्टलीय SiC को निरन्तरता सुनिश्चित गर्दछ। इनलेट हावा प्रवाह दिशा र सब्सट्रेट सतह बीचको सम्बन्ध, प्रतिक्रिया कक्षलाई तेर्सो संरचना रिएक्टर र ठाडो संरचना रिएक्टरमा विभाजन गर्न सकिन्छ।

एसआईसी एपिटेक्सियल फर्नेसको गुणस्तरका लागि तीनवटा मुख्य सूचकहरू छन्, पहिलो एपिटेक्सियल वृद्धि प्रदर्शन, मोटाई एकरूपता, डोपिङ एकरूपता, दोष दर र वृद्धि दर सहित; दोस्रो तताउने / शीतलन दर, अधिकतम तापक्रम, तापमान एकरूपता सहित उपकरणको तापमान प्रदर्शन हो; अन्तमा, एकल एकाइको मूल्य र क्षमता सहित उपकरणको लागत प्रदर्शन।

सिलिकन कार्बाइड epitaxial वृद्धि फर्नेस र कोर सामान भिन्नता को तीन प्रकार

तातो पर्खाल तेर्सो CVD (LPE कम्पनीको विशिष्ट मोडेल PE1O6), न्यानो पर्खाल ग्रह CVD (विशिष्ट मोडेल Aixtron G5WWC/G10) र अर्ध-तातो भित्ता CVD (नुफ्लेयर कम्पनीको EPIREVOS6 द्वारा प्रतिनिधित्व गरिएको) मुख्यधारा एपिटेक्सियल उपकरणहरू प्राविधिक समाधानहरू हुन् जुन वास्तविक बनाइएको छ। यस चरणमा व्यावसायिक अनुप्रयोगहरूमा। तीनवटा प्राविधिक उपकरणहरूको पनि आफ्नै विशेषताहरू छन् र माग अनुसार चयन गर्न सकिन्छ। तिनीहरूको संरचना निम्नानुसार देखाइएको छ:

सम्बन्धित मूल घटकहरू निम्नानुसार छन्:

(a) तातो पर्खाल तेर्सो प्रकारको कोर पार्ट- हाफमुन पार्टहरू हुन्छन्

डाउनस्ट्रीम इन्सुलेशन

मुख्य इन्सुलेशन माथिल्लो

माथिल्लो अर्धचन्द्र

अपस्ट्रीम इन्सुलेशन

संक्रमण टुक्रा 2

संक्रमण टुक्रा 1

बाह्य हावा नोजल

टेपर्ड स्नोर्कल

बाहिरी आर्गन ग्याँस नोजल

आर्गन ग्याँस नोजल

वेफर समर्थन प्लेट

केन्द्रित पिन

केन्द्रीय गार्ड

डाउनस्ट्रीम बायाँ सुरक्षा आवरण

डाउनस्ट्रीम दायाँ सुरक्षा कभर

माथिल्लो बायाँ सुरक्षा आवरण

माथिल्लो दाहिने सुरक्षा कभर

छेउको पर्खाल

ग्रेफाइट रिंग

सुरक्षात्मक अनुभूति भयो

सहयोगी अनुभूति भयो

सम्पर्क ब्लक

ग्यास आउटलेट सिलिन्डर

(b) न्यानो पर्खाल ग्रह प्रकार

SiC कोटिंग प्लानेटरी डिस्क र TaC लेपित प्लानेटरी डिस्क

Nuflare (जापान): यो कम्पनीले दोहोरो-चेम्बर ठाडो भट्टीहरू प्रदान गर्दछ जसले उत्पादन उपज बढाउन योगदान गर्दछ। उपकरणले प्रति मिनेट 1000 क्रान्तिहरूको उच्च-गति रोटेशन सुविधा दिन्छ, जुन एपिटेक्सियल एकरूपताको लागि अत्यधिक लाभदायक छ। थप रूपमा, यसको वायुप्रवाह दिशा अन्य उपकरणहरू भन्दा फरक छ, ठाडो रूपमा तल तर्फ, यसरी कणहरूको उत्पादनलाई न्यूनतम पार्छ र कणका थोपाहरू वेफर्समा खस्ने सम्भावना कम गर्दछ। हामी यस उपकरणको लागि कोर SiC लेपित ग्रेफाइट कम्पोनेन्टहरू प्रदान गर्दछौं।

SiC epitaxial उपकरण कम्पोनेन्टहरूको आपूर्तिकर्ताको रूपमा, VeTek Semiconductor ग्राहकहरूलाई SiC epitaxy को सफल कार्यान्वयनलाई समर्थन गर्न उच्च-गुणस्तरको कोटिंग कम्पोनेन्टहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ।

View as

CVD SiC कोटिंग Epitaxy ससेप्टर

VeTek Semiconductor को CVD SiC कोटिंग Epitaxy Susceptor एक परिशुद्ध ईन्जिनियर गरिएको उपकरण हो जुन सेमीकन्डक्टर वेफर ह्यान्डलिङ र प्रशोधनका लागि डिजाइन गरिएको हो। यो SiC कोटिंग Epitaxy ससेप्टरले पातलो फिल्महरू, एपिलेयरहरू, र अन्य कोटिंग्सको वृद्धिलाई बढावा दिन महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ, र ठीकसँग तापमान र भौतिक गुणहरू नियन्त्रण गर्न सक्छ। तपाईको थप सोधपुछलाई स्वागत छ।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

CVD SiC कोटिंग रिंग

CVD SiC कोटिंग रिंग हाफमून भागहरूको महत्त्वपूर्ण भागहरू मध्ये एक हो। अन्य भागहरूसँग सँगै, यसले SiC epitaxial वृद्धि प्रतिक्रिया कक्ष बनाउँछ। VeTek सेमीकन्डक्टर एक पेशेवर CVD SiC कोटिंग रिंग निर्माता र आपूर्तिकर्ता हो। ग्राहकको डिजाइन आवश्यकताहरु अनुसार, हामी सबै भन्दा प्रतिस्पर्धी मूल्य मा संगत CVD SiC कोटिंग औंठी प्रदान गर्न सक्छौं। VeTek Semiconductor चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छ।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भागहरू

एक पेशेवर अर्धचालक निर्माता र आपूर्तिकर्ताको रूपमा, VeTek सेमीकन्डक्टरले SiC epitaxial वृद्धि प्रणालीहरूको लागि आवश्यक विभिन्न ग्रेफाइट कम्पोनेन्टहरू प्रदान गर्न सक्छ। यी SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भागहरू एपिटेक्सियल रिएक्टरको ग्यास इनलेट खण्डको लागि डिजाइन गरिएका छन् र अर्धचालक निर्माण प्रक्रियालाई अनुकूलन गर्न महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छन्। VeTek Semiconductor ले ग्राहकहरूलाई सबैभन्दा प्रतिस्पर्धी मूल्यहरूमा उत्कृष्ट गुणस्तरका उत्पादनहरू प्रदान गर्न सधैं प्रयास गर्छ। VeTek Semiconductor चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छ।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

SiC लेपित वेफर होल्डर

VeTek अर्धचालक एक पेशेवर निर्माता र चीन मा SiC लेपित वेफर होल्डर उत्पादनहरु को नेता हो। SiC लेपित वेफर होल्डर अर्धचालक प्रशोधनमा एपिटेक्सी प्रक्रियाको लागि वेफर होल्डर हो। यो एक अपरिवर्तनीय उपकरण हो जसले वेफरलाई स्थिर गर्दछ र एपिटेक्सियल तहको समान वृद्धि सुनिश्चित गर्दछ। तपाईको थप परामर्शलाई स्वागत छ।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

Epi वेफर होल्डर

VeTek अर्धचालक एक पेशेवर Epi Wafer होल्डर निर्माता र चीन मा कारखाना हो। Epi Wafer होल्डर अर्धचालक प्रशोधन मा epitaxy प्रक्रिया को लागी एक वेफर होल्डर हो। यो वेफर स्थिर गर्न र epitaxial तह को समान वृद्धि सुनिश्चित गर्न एक प्रमुख उपकरण हो। यो MOCVD र LPCVD जस्ता एपिटेक्सी उपकरणहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। यो epitaxy प्रक्रिया मा एक अपरिवर्तनीय उपकरण हो। तपाईको थप परामर्शलाई स्वागत छ।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

Aixtron उपग्रह वेफर वाहक

चीनमा एक पेशेवर Aixtron Satellite Wafer Carrier उत्पादन निर्माता र आविष्कारकको रूपमा, VeTek Semiconductor को Aixtron Satellite Wafer Carrier AIXTRON उपकरणहरूमा प्रयोग हुने वेफर वाहक हो, मुख्यतया अर्धचालक प्रशोधनमा MOCVD प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ, र विशेष गरी उच्च-तापमान र उच्च-प्रक्रियाको लागि उपयुक्त छ। अर्धचालक प्रशोधन प्रक्रियाहरू। क्यारियरले MOCVD epitaxial वृद्धिको समयमा स्थिर वेफर समर्थन र एकसमान फिल्म डिपोजिसन प्रदान गर्न सक्छ, जुन लेयर डिपोजिसन प्रक्रियाको लागि आवश्यक छ। तपाईको थप परामर्शलाई स्वागत छ।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

<1 2 3 4 >

चीनमा एक पेशेवर सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सी निर्माता र आपूर्तिकर्ताको रूपमा, हामीसँग हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलित सेवाहरू चाहिन्छ वा चीनमा बनेको उन्नत र टिकाऊ सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सी किन्न चाहनुहुन्छ भने, तपाईंले हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।