चीन सिलिकन नाइट्राइड निर्माता, आपूर्तिकर्ता, कारखाना

VeTek सेमीकन्डक्टरले सिलिकन नाइट्राइडको निर्माणमा केन्द्रित छ र वरिष्ठ विशेषज्ञहरू र शीर्ष प्राविधिक प्रतिभाहरू मिलेर बनेको अनुसन्धान र विकास टोली छ। सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिकसँग कठोरता, तातो प्रतिरोध, सामान्य सिरेमिक सामग्रीको पहिरन प्रतिरोध र जंग प्रतिरोधको फाइदाहरू छन्, र राम्रो थर्मल झटका प्रतिरोध, उच्च तापमान क्रिप प्रतिरोध, राम्रो आत्म-स्नेहन, र राम्रो रासायनिक स्थिरताका फाइदाहरू छन्, र व्यापक रूपमा छन्। नयाँ ऊर्जा, रासायनिक उद्योग, एयरोस्पेस र अर्धचालक क्षेत्रहरूमा प्रयोग गरिन्छ।

VeTek सेमीकन्डक्टरको सिलिकन नाइट्राइड सामग्रीको निम्न प्रमुख फाइदाहरू छन्:

1. उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता

सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिकमा उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता हुन्छ र यसले विभिन्न प्रकारका बलियो एसिड, क्षार र संक्षारक ग्याँसहरू सामना गर्न सक्छ। अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा प्रायः संक्षारक रसायनहरूसँग व्यवहार गर्न आवश्यक छ, सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिकले दीर्घकालीन स्थिर प्रदर्शन ग्यारेन्टी प्रदान गर्न सक्छ।

2. उत्कृष्ट मेकानिकल गुणहरू

सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिकमा उच्च कठोरता, उत्कृष्ट कम्प्रेसिभ बल र पहिरन प्रतिरोध छ, मेकानिकल तनाव र सतह पहिरन सामना गर्न सक्षम, विरूपण वा फुट्न सजिलो छैन। यो मेकानिकल गुणले अर्धचालक उपकरणहरूमा संरचनात्मक र प्रक्रिया भागहरूको लागि सामग्रीको रूपमा धेरै उपयुक्त बनाउँछ।

3. उच्च-तापमान स्थिरता

सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिकले उच्च-तापमान वातावरणमा स्थिरता कायम राख्न सक्छ, नरम गर्न वा पग्लन सजिलो छैन, र अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा उच्च-तापमान प्रशोधन र ह्यान्डलिंगको सामना गर्न सक्छ। यसले यसलाई उच्च-तापमान प्रक्रिया उपकरण कुञ्जी कम्पोनेन्टहरू, जस्तै ग्रिपरहरू, प्रतिक्रिया कक्ष कम्पोनेन्टहरू र यस्तै अन्यको निर्माणमा प्रयोग गर्न अनुमति दिन्छ।

4. उत्कृष्ट इन्सुलेट गुणहरू

सेमीकन्डक्टर उपकरण निर्माणमा इन्सुलेट गुणहरू महत्त्वपूर्ण छन्। सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिकमा राम्रो इन्सुलेट गुणहरू छन्, जसले वर्तमान चुहावट वा विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेपबाट सर्किट कम्पोनेन्टहरूलाई प्रभावकारी रूपमा अलग गर्न र सुरक्षित गर्न सक्छ, उपकरणको स्थिरता र विश्वसनीयता सुधार गर्न मद्दत गर्दछ।

5. थर्मल चालकता र थर्मल चालकता

सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिकमा उच्च थर्मल चालकता छ, प्रभावकारी रूपमा सञ्चालन गर्न सक्छ र उपकरणद्वारा उत्पन्न तापलाई फैलाउन सक्छ, अपरेटिङ प्रक्रियामा उपकरणको तापमान स्थिरता कायम राख्न मद्दत गर्दछ। यो अर्धचालक यन्त्रहरूको उच्च-सम्पादन सञ्चालनको लागि महत्त्वपूर्ण छ।

सौर्य र अर्धचालक उद्योगहरूमा VeTek सेमीकन्डक्टरको सिलिकन नाइट्राइड सामग्रीहरूको अनुप्रयोगहरू मुख्य रूपमा समावेश छन्:

1. इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू र नक्काशी कक्ष घटकहरू

सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिकहरू प्रायः इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू र सेमीकन्डक्टर निर्माणमा एचिंग चेम्बर कम्पोनेन्टहरूको लागि सामग्रीको रूपमा प्रयोग गरिन्छ किनभने तिनीहरूको उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता र उच्च तापमान प्रतिरोध। इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू वेफर्स वा सब्सट्रेटहरू ठीक गर्न र स्थिर गर्न प्रयोग गरिन्छ, जबकि नक्काशी कक्ष कम्पोनेन्टहरू संक्षारक ग्यासहरू र उच्च-तापमान वातावरणहरू सामना गर्न प्रयोग गरिन्छ।

2. ग्यास वितरण प्लेट र रिफ्लेक्टरहरू

सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिकहरू पनि ग्यास वितरण प्लेटहरू र रिफ्लेक्टरहरूमा अर्धचालक उपकरणहरूको निर्माणमा प्रयोग गरिन्छ। ग्यास वितरण प्लेटहरू प्रतिक्रिया कक्षमा प्रतिक्रियाशील वा सुरक्षात्मक ग्यासहरू समान रूपमा वितरण गर्न प्रयोग गरिन्छ, जबकि प्रतिक्षेपकहरू प्रतिक्रिया कक्ष भित्र प्रकाशको वितरण र प्रतिबिम्बलाई अनुकूलन गर्न प्रयोग गरिन्छ प्रतिक्रिया दक्षता र एकरूपता सुधार गर्न।

3. धारकहरू र थर्मल अवयवहरू

सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिकहरू प्राय: सेमीकन्डक्टर उत्पादन उपकरणहरूमा धारकहरू र थर्मल व्यवस्थापन घटकहरूको रूपमा प्रयोग गरिन्छ। स्थिर उपकरण सञ्चालन र उपकरण प्रशोधन शुद्धता सुनिश्चित गर्न यी कम्पोनेन्टहरूमा राम्रो मेकानिकल बल, पहिरन प्रतिरोध र थर्मल चालकता हुनु आवश्यक छ।

4. केमिकल मेकानिकल पालिसिङ (CMP) प्याड

सिलिकन नाइट्राइड सिरेमिक केमिकल मेकानिकल पालिसिङ (CMP) प्रक्रियामा प्याड सामग्रीको रूपमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। यसमा उत्कृष्ट समतलता र पहिरन प्रतिरोध छ, र सेमीकन्डक्टर वेफर सतहको समतलता र सटीकता सुनिश्चित गर्न पालिश प्रक्रियाको समयमा स्थिर समर्थन प्रदान गर्न सक्छ।