चीन ठोस सिलिकन कार्बाइड निर्माता, आपूर्तिकर्ता, कारखाना

VeTek अर्धचालक ठोस सिलिकन कार्बाइड प्लाज्मा नक्काशी उपकरण, ठोस सिलिकन कार्बाइड मा एक महत्वपूर्ण सिरेमिक घटक हो।CVD सिलिकन कार्बाइड) नक्काशी उपकरणमा भागहरू समावेश छन्फोकस गर्ने घण्टीहरू, ग्यास शावरहेड, ट्रे, एज रिङ्हरू, इत्यादि। ठोस सिलिकन कार्बाइड (CVD सिलिकन कार्बाइड) को क्लोरीन - र फ्लोरिन युक्त नक्काशी ग्यासहरूमा कम प्रतिक्रियाशीलता र चालकताका कारण, यो प्लाज्मा इचिङ उपकरणहरू फोकस गर्ने घण्टीहरू र अन्यका लागि एक आदर्श सामग्री हो। अवयवहरू।

उदाहरण को लागी, फोकस रिंग एक महत्वपूर्ण भाग हो जुन वेफर बाहिर र वेफर संग प्रत्यक्ष सम्पर्क मा राखिएको छ, रिंग को माध्यम बाट जाने प्लाज्मा फोकस गर्न रिंग मा एक भोल्टेज लागू गरेर, यसरी एकरूपता सुधार गर्न वेफर मा प्लाज्मा केन्द्रित। प्रशोधन गर्दै। परम्परागत फोकस रिंग सिलिकन वा बनाइएको छक्वार्ट्ज, प्रवाहकीय सिलिकन एक साधारण फोकस औंठी सामाग्री को रूप मा, यो लगभग सिलिकन वेफर्स को चालकता को नजिक छ, तर अभाव फ्लोरिन युक्त प्लाज्मा मा गरीब नक्काशी प्रतिरोध छ, नक्कली मेशिन पार्ट्स सामाग्री अक्सर समय को लागी प्रयोग गरिन्छ, त्यहाँ गम्भीर हुनेछ। क्षरण घटना, गम्भीर रूपमा यसको उत्पादन दक्षता कम गर्दै।

Solid SiC फोकस रिंगकार्य सिद्धान्त：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

र आधारित फोकसिङ रिङ र CVD SiC फोकसिङ रिङको तुलना:

र आधारित फोकसिङ रिङ र CVD SiC फोकसिङ रिङको तुलना
वस्तु	र	CVD SiC
घनत्व (g/cm³)	2.33	3.21
ब्यान्ड ग्याप (eV)	1.12	2.3
थर्मल चालकता (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-६/℃)	2.6	4
लोचदार मोड्युलस (GPa)	150	440
कठोरता (GPa)	11.4	24.5
लगाउने र जंग प्रतिरोध	गरिब	उत्कृष्ट

VeTek सेमीकन्डक्टरले उन्नत ठोस सिलिकन कार्बाइड (CVD सिलिकन कार्बाइड) सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूको लागि SiC फोकस गर्ने घण्टीहरू प्रदान गर्दछ। हाम्रो ठोस सिलिकन कार्बाइड फोकस गर्ने घण्टीहरूले मेकानिकल बल, रासायनिक प्रतिरोध, थर्मल चालकता, उच्च-तापमान स्थायित्व, र आयन नक्काशी प्रतिरोधको सन्दर्भमा परम्परागत सिलिकनलाई पछाडि पार्छ।

हाम्रो SiC फोकस गर्ने घण्टीहरूको मुख्य विशेषताहरू समावेश छन्:

कम नक्काशी दरहरूको लागि उच्च घनत्व।

उच्च ब्यान्डग्यापको साथ उत्कृष्ट इन्सुलेशन।

उच्च थर्मल चालकता र थर्मल विस्तार को कम गुणांक।

सुपीरियर मेकानिकल प्रभाव प्रतिरोध र लोच।

उच्च कठोरता, पहिरन प्रतिरोध, र जंग प्रतिरोध।

प्रयोग गरेर निर्माण गरिएको होप्लाज्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प निक्षेप (PECVD)प्रविधिहरू, हाम्रो SiC फोकस गर्ने घण्टीहरूले सेमीकन्डक्टर निर्माणमा नक्काशी प्रक्रियाहरूको बढ्दो मागहरू पूरा गर्दछ। तिनीहरू उच्च प्लाज्मा पावर र ऊर्जाको सामना गर्न डिजाइन गरिएका छन्, विशेष गरीcapacitively युग्मित प्लाज्मा (CCP)प्रणालीहरू।

VeTek सेमीकन्डक्टरको SiC फोकस गर्ने घण्टीहरूले अर्धचालक उपकरण निर्माणमा असाधारण प्रदर्शन र विश्वसनीयता प्रदान गर्दछ। उच्च गुणस्तर र दक्षताको लागि हाम्रो SiC कम्पोनेन्टहरू छनौट गर्नुहोस्।

View as

सिलिकन कार्बाइड शावर हेड

VeTek सेमीकन्डक्टर चीनमा सिलिकन कार्बाइड शावर हेड उत्पादनहरूको एक अग्रणी निर्माता र आपूर्तिकर्ता हो। SiC शावर हेडमा उत्कृष्ट उच्च तापमान सहिष्णुता, रासायनिक स्थिरता, थर्मल चालकता र राम्रो ग्यास वितरण प्रदर्शन छ, जसले समान ग्यास वितरण प्राप्त गर्न र फिल्मको गुणस्तर सुधार गर्न सक्छ। त्यसकारण, यो सामान्यतया उच्च तापक्रम प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ जस्तै रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) वा भौतिक भाप निक्षेप (PVD) प्रक्रियाहरूमा। तपाईको थप परामर्शलाई स्वागत छ।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

सिलिकन कार्बाइड सील रिंग

एक पेशेवर सिलिकन कार्बाइड सील रिङ उत्पादन निर्माता र चीन मा कारखाना को रूपमा, VeTek सेमीकन्डक्टर सिलिकन कार्बाइड सील रिंग यसको उत्कृष्ट गर्मी प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, मेकानिकल शक्ति र थर्मल चालकता को कारण अर्धचालक प्रशोधन उपकरण मा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। यो विशेष गरी उच्च तापक्रम र प्रतिक्रियाशील ग्यासहरू समावेश गर्ने प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त छ जस्तै CVD, PVD र प्लाज्मा नक्काशी, र अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा मुख्य सामग्री छनौट हो। तपाईंको थप सोधपुछ स्वागत छ।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

SiC क्रिस्टल विकासको लागि CVD SiC ब्लक

VeTek सेमीकन्डक्टरले CVD-SiC बल्क स्रोतहरू, CVD SiC कोटिंग्स, र CVD TaC कोटिंग्सको अनुसन्धान र विकास र औद्योगिकीकरणमा केन्द्रित छ। उदाहरणको रूपमा SiC क्रिस्टल ग्रोथको लागि CVD SiC ब्लक लिँदै, उत्पादन प्रशोधन प्रविधि उन्नत छ, वृद्धि दर छिटो छ, उच्च तापमान प्रतिरोध, र जंग प्रतिरोध बलियो छ। सोधपुछ गर्न स्वागत छ।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

SiC क्रिस्टल ग्रोथ नयाँ प्रविधि

रासायनिक भाप निक्षेप (CVD) द्वारा बनाइएको भेटेक सेमिकन्डक्टरको अल्ट्रा-हाई शुद्धता सिलिकन कार्बाइड (SiC) भौतिक भाप यातायात (PVT) द्वारा सिलिकन कार्बाइड क्रिस्टलहरू बढाउनको लागि स्रोत सामग्रीको रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ। SiC क्रिस्टल ग्रोथ न्यू टेक्नोलोजीमा, स्रोत सामग्री क्रुसिबलमा लोड गरिन्छ र बीज क्रिस्टलमा सबलिमिटेड हुन्छ। रिजर्भ गरिएका CVD-SiC ब्लकहरू प्रयोग गर्नुहोस् सामग्रीलाई SiC क्रिस्टलहरू बढाउनको लागि स्रोतको रूपमा पुन: प्रयोग गर्नुहोस्। हामीसँग साझेदारी स्थापना गर्न स्वागत छ।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

CVD SiC शावर हेड

VeTek सेमीकन्डक्टर चीनको एक अग्रणी CVD SiC शावर हेड निर्माता र आविष्कारक हो। हामी धेरै वर्षदेखि SiC सामग्रीमा विशेषज्ञता भएका छौं। CVD SiC शावर हेडलाई उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च मेकानिकल बल र प्रतिरोधको कारणले फोकस गर्ने औंठी सामग्रीको रूपमा छनोट गरिएको छ। प्लाज्मा इरोसन। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

SiC शावर हेड

VeTek सेमीकन्डक्टर चीनको एक अग्रणी SiC शावर हेड निर्माता र आविष्कारक हो। हामी धेरै वर्षदेखि SiC सामग्रीमा विशेषज्ञता भएका छौं। उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च मेकानिकल बल र प्लाज्मा क्षरणको प्रतिरोधका कारण SiC शावर हेडलाई फोकस गर्ने औंठी सामग्रीको रूपमा छनोट गरिएको छ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्

<1 2 >

चीनमा एक पेशेवर ठोस सिलिकन कार्बाइड निर्माता र आपूर्तिकर्ताको रूपमा, हामीसँग हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलित सेवाहरू चाहिन्छ वा चीनमा बनेको उन्नत र टिकाऊ ठोस सिलिकन कार्बाइड किन्न चाहनुहुन्छ भने, तपाईंले हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।