ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग समर्थन

VeTek अर्धचालक को मुख्य कार्यट्यान्टलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंगसुधार गर्न समर्थन छगर्मी प्रतिरोध, पहिरन प्रतिरोध र जंग प्रतिरोधट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग को एक तह लेप द्वारा सब्सट्रेट को, ताकि प्रक्रिया को शुद्धता र विश्वसनीयता सुधार गर्न र घटक को सेवा जीवन विस्तार। यो अर्धचालक प्रशोधन को क्षेत्र मा प्रयोग एक उच्च प्रदर्शन कोटिंग उत्पादन हो।

VeTek सेमीकन्डक्टरको ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंग सपोर्टको मोहस कठोरता लगभग 9 ~ 10 छ, हीरा पछि दोस्रो। योसँग अत्यन्त बलियो पहिरन प्रतिरोध छ र प्रभावकारी रूपमा सतहको पहिरन र प्रशोधनको क्रममा प्रभावको प्रतिरोध गर्न सक्छ, जसले गर्दा प्रभावकारी रूपमा उपकरण घटकहरूको सेवा जीवन विस्तार गर्दछ। यसको लगभग 3880 डिग्री सेल्सियसको उच्च पिघलने बिन्दुसँग मिलाएर, यो प्राय: अर्धचालक उपकरणहरूको मुख्य भागहरू कोटिंग गर्न प्रयोग गरिन्छ, जस्तै समर्थन संरचनाहरूको सतह कोटिंग्स, तातो उपचार उपकरणहरू, सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूमा चेम्बर वा ग्यास्केटहरू यसको पहिरन प्रतिरोध र उच्च तापमान बढाउन। प्रतिरोध।

लगभग 3880 डिग्री सेल्सियसको ट्यान्टालम कार्बाइडको अत्यधिक उच्च पग्लने बिन्दुको कारण, अर्धचालक प्रशोधन प्रक्रियाहरूमा जस्तैरासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD)रभौतिक भाप निक्षेप (PVD), बलियो उच्च तापमान प्रतिरोध र रासायनिक जंग प्रतिरोध संग TAC कोटिंग प्रभावकारी रूपमा उपकरण घटक सुरक्षा गर्न सक्छ र चरम वातावरण मा क्षरण वा सब्सट्रेट को क्षति रोक्न, वेफर निर्माण मा उच्च तापमान वातावरण को लागी प्रभावकारी सुरक्षा प्रदान गर्दछ। यो सुविधाले VeTek सेमीकन्डक्टरको ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंग समर्थन अक्सर नक्काशी र संक्षारक प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ भनेर निर्धारण गर्दछ।

ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग समर्थनमा कण प्रदूषण कम गर्ने कार्य पनि छ। वेफर प्रशोधनको क्रममा, सतहको पहिरनले सामान्यतया कण दूषित हुन्छ, जसले वेफरको उत्पादनको गुणस्तरलाई असर गर्छ। TaC कोटिंगको 9-10 Mohs कठोरताको चरम उत्पादन विशेषताहरूले यो पहिरनलाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्न सक्छ, जसले गर्दा कणहरूको उत्पादन घटाउँछ। TaC कोटिंगको उत्कृष्ट थर्मल चालकता (लगभग 21 W/m·K) सँग मिलाएर, यसले उच्च तापक्रम अवस्थाहरूमा राम्रो थर्मल चालकता कायम राख्न सक्छ, जसले गर्दा वेफर उत्पादनको उत्पादन र स्थिरतामा धेरै सुधार हुन्छ।

VeTek सेमीकन्डक्टरको मुख्य TaC कोटिंग उत्पादनहरू समावेश छन्TaC कोटिंग हीटर, CVD TaC कोटिंग क्रूसिबल, TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टररTaC कोटिंग स्पेयर पार्ट, आदि, र अनुकूलित उत्पादन सेवाहरू समर्थन गर्दछ। VeTek सेमीकन्डक्टर सेमीकन्डक्टर उद्योगको लागि उत्कृष्ट उत्पादनहरू र प्राविधिक समाधानहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ। हामी ईमानदारीपूर्वक चीन मा आफ्नो दीर्घकालीन साझेदार बन्न आशा।

ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंग माइक्रोस्कोपिक क्रस-सेक्शनमा:

CVD TaC कोटिंगको आधारभूत भौतिक गुणहरू：