CVD TaC कोटिंग क्रूसिबल

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टरले CVD र MBE जस्ता उच्च तापक्रम निक्षेप प्रक्रियाहरूमा मुख्य भूमिका खेल्छ, र अर्धचालक निर्माणमा वेफर प्रशोधनको लागि महत्त्वपूर्ण घटक हो। ती मध्ये,TaC कोटिंगउत्कृष्ट उच्च तापक्रम प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध र रासायनिक स्थिरता छ, जसले वेफर प्रशोधन गर्दा उच्च परिशुद्धता र उच्च गुणस्तर सुनिश्चित गर्दछ।

CVD TaC कोटिंग क्रूसिबल सामान्यतया TaC कोटिंग र समावेश गर्दछग्रेफाइटसब्सट्रेट। ती मध्ये, TaC एक उच्च पग्लने बिन्दु सिरेमिक सामग्री हो जसको पिघलने बिन्दु 3880 डिग्री सेल्सियस सम्म छ। यसमा अत्यधिक उच्च कठोरता (2000 HV सम्म Vickers कठोरता), रासायनिक जंग प्रतिरोध र बलियो अक्सीकरण प्रतिरोध छ। तसर्थ, TaC कोटिंग अर्धचालक प्रशोधन प्रविधिमा उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोधी सामग्री हो।

ग्रेफाइट सब्सट्रेटमा राम्रो थर्मल चालकता (थर्मल चालकता लगभग 21 W/m·K छ) र उत्कृष्ट मेकानिकल स्थिरता छ। यो विशेषताले निर्धारण गर्छ कि ग्रेफाइट एक आदर्श कोटिंग हुन्छसब्सट्रेट.

CVD TaC कोटिंग क्रूसिबल मुख्यतया निम्न अर्धचालक प्रशोधन प्रविधिहरूमा प्रयोग गरिन्छ:

वेफर उत्पादन: VeTek सेमीकन्डक्टर CVD TaC कोटिंग क्रुसिबलमा उत्कृष्ट उच्च तापक्रम प्रतिरोध (3880°C सम्म पिघलने बिन्दु) र जंग प्रतिरोध छ, त्यसैले यो प्राय: उच्च तापक्रम भाप डिपोजिसन (CVD) र एपिटेक्सियल वृद्धि जस्ता प्रमुख वेफर निर्माण प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ। अति-उच्च तापक्रम वातावरणमा उत्पादनको उत्कृष्ट संरचनात्मक स्थिरतासँग जोडिएको, यसले यो सुनिश्चित गर्दछ कि उपकरणहरूले अत्यन्त कठोर परिस्थितिहरूमा लामो समयसम्म स्थिर रूपमा सञ्चालन गर्न सक्छ, जसले गर्दा वेफरहरूको उत्पादन क्षमता र गुणस्तरमा प्रभावकारी रूपमा सुधार हुन्छ।

Epitaxial वृद्धि प्रक्रिया: एपिटेक्सियल प्रक्रियाहरूमा जस्तैरासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD)र आणविक बीम एपिटेक्सी (MBE), CVD TaC कोटिंग क्रुसिबलले बोक्नमा मुख्य भूमिका खेल्छ। यसको TaC कोटिंगले चरम तापक्रम र संक्षारक वातावरणमा सामग्रीको उच्च शुद्धता मात्र कायम राख्न सक्दैन, तर उत्पादन प्रक्रिया र उत्पादन स्थिरताको शुद्धता सुनिश्चित गर्दै सामग्रीमा रिएक्टरको दूषित र रिएक्टरको क्षयलाई प्रभावकारी रूपमा रोक्न पनि सक्छ।

चीनको अग्रणी CVD TaC कोटिंग क्रुसिबल निर्माता र नेताको रूपमा, VeTek सेमीकन्डक्टरले तपाइँको उपकरण र प्रक्रिया आवश्यकताहरू अनुसार अनुकूलित उत्पादनहरू र प्राविधिक सेवाहरू प्रदान गर्न सक्छ। हामी ईमानदारीपूर्वक चीन मा आफ्नो दीर्घकालीन साझेदार बन्न आशा।

ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग माइक्रोस्कोपिक क्रस-सेक्शनमा：

TaC कोटिंग को भौतिक गुण：

VeTek अर्धचालक CVD TaC कोटिंग क्रुसिबल पसलहरू: