TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर

VeTek सेमीकन्डक्टर TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर अर्धचालक प्रशोधनमा वेफर ह्यान्डलिंगको लागि एक प्रमुख घटक हो। यसकोTaC Coहाम्रोउत्कृष्ट उच्च तापमान सहिष्णुता (३८८० डिग्री सेल्सियस सम्म पिघलने बिन्दु), रासायनिक स्थिरता र जंग प्रतिरोध, जसले वेफर प्रशोधनमा उच्च परिशुद्धता र उच्च गुणस्तर सुनिश्चित गर्दछ।

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर (ट्यान्टलम कार्बन कोटिंग रोटेशन ससेप्टर) सेमीकन्डक्टर प्रशोधनमा प्रयोग हुने प्रमुख उपकरण घटक हो। यो सामान्यतया मा स्थापित छरासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD)र आणविक बीम एपिटेक्सी (MBE) उपकरण एकसमान सामग्री जम्मा र कुशल प्रतिक्रिया सुनिश्चित गर्न वेफरहरूलाई समर्थन र घुमाउन। यस प्रकारको उत्पादनले उच्च तापक्रम र संक्षारक वातावरणमा सब्सट्रेट कोट गरेर उपकरणको सेवा जीवन र प्रदर्शनमा उल्लेखनीय सुधार गर्दछ।ट्यान्टलम कार्बन (TaC) कोटिंग.

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर सामान्यतया TaC कोटिंग र ग्रेफाइट वा सिलिकन कार्बाइड सब्सट्रेट सामग्रीको रूपमा बनेको हुन्छ। TaC अति उच्च पिघलने बिन्दु (3880 डिग्री सेल्सियस सम्म पिघलने बिन्दु), कठोरता (Vickers कठोरता लगभग 2000 HK छ) र उत्कृष्ट रासायनिक जंग प्रतिरोध संग एक अति उच्च तापमान सिरेमिक सामग्री हो। VeTek सेमीकन्डक्टरले CVD प्रविधि मार्फत सब्सट्रेट सामग्रीमा ट्यान्टालम कार्बन कोटिंगलाई प्रभावकारी र समान रूपमा कभर गर्न सक्छ।

रोटेशन ससेप्टर सामान्यतया उच्च थर्मल चालकता र उच्च शक्ति सामग्री (ग्रेफाइट वासिलिकन कार्बाइड), जसले उच्च तापमान वातावरणमा राम्रो मेकानिकल समर्थन र थर्मल स्थिरता प्रदान गर्न सक्छ। दुईको सही संयोजनले समर्थन र घुमाउने वेफरहरूमा TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टरको उत्तम प्रदर्शन निर्धारण गर्दछ।

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टरले CVD प्रक्रियामा वेफरलाई समर्थन र घुमाउँछ। TaC को Vickers कठोरता लगभग 2000 HK छ, जसले यसलाई सामग्रीको बारम्बार घर्षण प्रतिरोध गर्न र राम्रो समर्थन भूमिका खेल्न सक्षम बनाउँछ, जसले गर्दा प्रतिक्रिया ग्याँस वेफर सतहमा समान रूपमा वितरण गरिएको छ र सामग्री समान रूपमा जम्मा गरिएको छ। एकै समयमा, TaC कोटिंगको उच्च तापमान सहिष्णुता र जंग प्रतिरोधले यसलाई उच्च तापक्रम र संक्षारक वायुमण्डलमा लामो समयसम्म प्रयोग गर्न सक्षम बनाउँछ, जसले प्रभावकारी रूपमा वेफर र क्यारियरको प्रदूषणलाई बेवास्ता गर्छ।

यसबाहेक, TaC को थर्मल चालकता 21 W/m·K हो, जसमा राम्रो ताप स्थानान्तरण हुन्छ। तसर्थ, TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टरले उच्च तापमान अवस्थाहरूमा समान रूपमा वेफरलाई तताउन सक्छ र रोटेशनल गति मार्फत ग्यास निक्षेप प्रक्रियाको एकरूपता सुनिश्चित गर्न सक्छ, जसले गर्दा स्थिरता र उच्च गुणस्तर कायम राख्छ।वेफर वृद्धि.

ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंग माइक्रोस्कोपिक क्रस-सेक्शनमा：

TaC कोटिंग को भौतिक गुण：

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर पसलहरू: