TaC कोटिंग गाइड रिंगहरू

TaC कोटिंग गाइड रिंग को कार्य:

सटीक ग्यास प्रवाह नियन्त्रण: दTaC कोटिंग गाइड रिंगको ग्यास इंजेक्शन प्रणाली भित्र रणनीतिक रूपमा स्थित छMOCVD रिएक्टर। यसको प्राथमिक कार्य पूर्ववर्ती ग्यासहरूको प्रवाहलाई निर्देशित गर्नु र सब्सट्रेट वेफर सतहमा तिनीहरूको समान वितरण सुनिश्चित गर्नु हो। ग्याँस प्रवाह गतिशीलता मा यो सटीक नियन्त्रण एकसमान epitaxial तह वृद्धि र इच्छित सामग्री गुणहरू प्राप्त गर्न आवश्यक छ।

थर्मल व्यवस्थापन: TaC कोटिंग गाईड रिङ्हरू तातो ससेप्टर र सब्सट्रेटको निकटताको कारणले प्रायः उच्च तापक्रममा सञ्चालन हुन्छ। TaC को उत्कृष्ट थर्मल चालकताले तातो प्रभावकारी रूपमा फैलाउन मद्दत गर्दछ, स्थानीयकृत ओभरहेटिंग रोक्न र प्रतिक्रिया क्षेत्र भित्र स्थिर तापमान प्रोफाइल कायम राख्छ।

MOCVD मा TaC को फाइदाहरू:

चरम तापमान प्रतिरोध: TaC ले 3800°C भन्दा बढि, सबै सामग्रीहरू बीचको उच्चतम पग्लने बिन्दुहरू मध्ये एकलाई गर्व गर्दछ।

उत्कृष्ट रासायनिक जडता: TaC ले MOCVD मा प्रयोग हुने प्रतिक्रियात्मक पूर्ववर्ती ग्यासहरू जस्तै अमोनिया, सिलेन, र विभिन्न धातु-जैविक यौगिकहरूबाट क्षरण र रासायनिक आक्रमणको लागि असाधारण प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ।

को भौतिक गुणहरूTaC कोटिंग:

MOCVD प्रदर्शनका लागि लाभहरू:

MOCVD उपकरणहरूमा VeTek अर्धचालक TaC कोटिंग गाइड रिंगको प्रयोगले महत्त्वपूर्ण योगदान पुर्‍याउँछ:

बढाइएको उपकरण अपटाइम: TaC कोटिंग गाइड रिङको स्थायित्व र विस्तारित आयुले बारम्बार प्रतिस्थापनको आवश्यकतालाई कम गर्छ, मर्मतसम्भार डाउनटाइमलाई कम गर्छ र MOCVD प्रणालीको परिचालन दक्षतालाई अधिकतम बनाउँछ।

परिष्कृत प्रक्रिया स्थिरता: TaC को थर्मल स्थिरता र रासायनिक जडताले MOCVD चेम्बर भित्र थप स्थिर र नियन्त्रित प्रतिक्रिया वातावरणमा योगदान पुर्‍याउँछ, प्रक्रिया भिन्नताहरूलाई कम गर्दै र प्रजनन क्षमतामा सुधार गर्दछ।

सुधारिएको एपिटेक्सियल लेयर एकरूपता: सटीक ग्यास प्रवाह नियन्त्रण TaC कोटिंग गाईड रिंगहरू द्वारा सहज रूपमा एकसमान पूर्ववर्ती वितरण सुनिश्चित गर्दछ, परिणामस्वरूप अत्यधिक एकरूप हुन्छ।epitaxial तह वृद्धिलगातार मोटाई र संरचना संग।

ट्यान्टलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंगमाइक्रोस्कोपिक क्रस-सेक्शनमा: