VeTek सेमीकन्डक्टर चीनको एक अग्रणी SiC शावर हेड निर्माता र आविष्कारक हो। हामी धेरै वर्षदेखि SiC सामग्रीमा विशेषज्ञता भएका छौं। उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता, उच्च मेकानिकल बल र प्लाज्मा क्षरणको प्रतिरोधका कारण SiC शावर हेडलाई फोकस गर्ने औंठी सामग्रीको रूपमा छनोट गरिएको छ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।
तपाईं हाम्रो कारखानाबाट SiC शावर हेड किन्नको लागि आश्वस्त हुन सक्नुहुन्छ।
सिलिकन कार्बाइड सामग्रीहरूमा उत्कृष्ट थर्मल, विद्युतीय र रासायनिक गुणहरूको एक अद्वितीय संयोजन छ, जसले तिनीहरूलाई अर्धचालक उद्योगमा उच्च-सम्पादन सामग्रीहरू आवश्यक पर्ने अनुप्रयोगहरूको लागि आदर्श बनाउँछ।
VeTek सेमीकन्डक्टरको क्रान्तिकारी टेक्नोलोजीले SiC शावर हेडको उत्पादनलाई सक्षम बनाउँछ, एक अल्ट्रा-उच्च शुद्धता सिलिकन कार्बाइड सामग्री रासायनिक वाष्प निक्षेपको प्रक्रियाबाट सिर्जना गरिएको हो।
SiC शावर हेड अर्धचालक निर्माण मा एक महत्वपूर्ण घटक हो, विशेष गरी MOCVD प्रणाली, सिलिकन epitaxy, र SiC epitaxy प्रक्रियाहरु को लागी डिजाइन गरिएको। बलियो ठोस सिलिकन कार्बाइड (SiC) बाट बनेको, यो कम्पोनेन्टले प्लाज्मा प्रशोधन र उच्च-तापमान अनुप्रयोगहरूको चरम अवस्थाहरूको सामना गर्न सक्छ।
सिलिकन कार्बाइड (SiC) यसको उच्च थर्मल चालकता, रासायनिक जंग प्रतिरोध, र असाधारण मेकानिकल बलको लागि परिचित छ, जसले यसलाई SiC शावर हेड जस्ता थोक SiC कम्पोनेन्टहरूको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँछ। ग्यास शावर हेडले वेफर सतहमा प्रक्रिया ग्यासहरूको समान वितरण सुनिश्चित गर्दछ, जुन उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल तहहरू उत्पादन गर्न आवश्यक छ। फोकस रिङ् र एज रिङ्हरू, प्राय: CVD-SiC बाट बनाइन्छ, समान प्लाज्मा वितरण कायम राख्छ र चेम्बरलाई प्रदूषणबाट जोगाउँछ, दक्षता र एपिटेक्सियल वृद्धिको उपज बढाउँछ।
यसको सटीक ग्यास प्रवाह नियन्त्रण र उत्कृष्ट सामग्री गुणहरूको साथ, SiC शावर हेड आधुनिक अर्धचालक प्रशोधनमा एक प्रमुख घटक हो, सिलिकन एपिटेक्सी र SiC एपिटेक्सीमा उन्नत अनुप्रयोगहरूलाई समर्थन गर्दछ।
VeTek सेमीकन्डक्टरले कम प्रतिरोधी सिन्टेड सिलिकन कार्बाइड सेमीकन्डक्टर शावर हेड प्रदान गर्दछ। हामीसँग अनुकूलन ईन्जिनियर गर्ने क्षमता छ र विभिन्न प्रकारका अद्वितीय क्षमताहरू प्रयोग गरी उन्नत सिरेमिक सामग्रीहरू आपूर्ति गर्दछ।
ठोस SiC को भौतिक गुण | |||
घनत्व | 3.21 | g/cm3 | |
बिजुली प्रतिरोधात्मकता | 102 | Ω/सेमी | |
फ्लेक्सरल शक्ति | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
युवा मोडलस | 450 | GPa | (6000kgf/mm2) |
विकर्स कठोरता | 26 | GPa | (2650kgf/mm2) |
C.T.E.(RT-1000℃) | 4.0 | x10-6/K | |
थर्मल चालकता (RT) | 250 | W/mK |