VeTek Semiconductor को CVD SiC कोटिंग Epitaxy Susceptor एक परिशुद्ध ईन्जिनियर गरिएको उपकरण हो जुन सेमीकन्डक्टर वेफर ह्यान्डलिङ र प्रशोधनका लागि डिजाइन गरिएको हो। यो SiC कोटिंग Epitaxy ससेप्टरले पातलो फिल्महरू, एपिलेयरहरू, र अन्य कोटिंग्सको वृद्धिलाई बढावा दिन महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ, र ठीकसँग तापमान र भौतिक गुणहरू नियन्त्रण गर्न सक्छ। तपाईको थप सोधपुछलाई स्वागत छ।
CVD SiC कोटिंग Epitaxy Susceptor को एक प्रकार होMOCVD एलईडी Epi ससेप्टर, जसले CVD रिएक्टरमा केन्द्रीय भूमिका खेल्छ। एपि ससेप्टरको रूपमा, यो केवल एक तातो स्रोत होईन, तर डिपोजिसन प्रक्रियाको क्रममा सब्सट्रेटको लागि स्थिर समर्थन प्लेटफर्म पनि प्रदान गर्दछ।SiC कोटिंगउच्च तापमान वातावरणमा ग्रेफाइट ससेप्टरको अक्सीकरण र प्रदूषणलाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्न सक्छ, जसले गर्दा जम्मा गरिएको सामग्रीको उच्च शुद्धता सुनिश्चित हुन्छ।
आधारभूतCVD SiC कोटिंगको भौतिक गुणहरू:
CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण
सम्पत्ति
सामान्य मान
क्रिस्टल संरचना
FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख
घनत्व
३.२१ ग्राम/सेमी³
कठोरता
2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज आकार
2~10μm
रासायनिक शुद्धता
९९.९९९९५%
गर्मी क्षमता
640 J·kg-१· के-१
उदात्तीकरण तापमान
2700 ℃
फ्लेक्सरल शक्ति
415 MPa RT 4-बिन्दु
युवाको मोडुलस
430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता
300W·m-१· के-१
थर्मल विस्तार (CTE)
४.५ × १०-६K-१
CVD SiC कोटिंग Epitaxy ससेप्टर उत्पादन लाभहरू:
● सटीक बयान: CVD SiC कोटिंग Epitaxy ससेप्टरको साथ, तपाईले उच्च गुणस्तर र दोहोर्याउन मिल्ने नतिजाहरू प्राप्त गर्न पातलो फिल्महरू र कोटिंग्सको सटीक रूपमा नियन्त्रित निक्षेप प्राप्त गर्न सक्नुहुन्छ।
● कम प्रदूषण: SiC कोटिंगले प्रदूषणको जोखिमलाई कम गर्छEpi Suceptorग्रेफाइटमा आधारित, जम्मा गरिएको सामग्रीको शुद्धता सुनिश्चित गर्दै।
● स्थायित्व: SiC कोटिंगले ग्रेफाइट एपिटेक्सी ससेप्टरको अक्सिडेशन प्रतिरोध र रासायनिक जंग प्रतिरोधलाई बढाउँछ, यसले लामो सेवा जीवन र उच्च विश्वसनीयता दिन्छ।
VeTek अर्धचालक उच्च गुणस्तर उत्पादन र प्रतिस्पर्धी मूल्यहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ। चाहे त्यो होयदि EPI प्राप्तकर्तावा उच्च शुद्धता ग्रेफाइट EPI ससेप्टर, हामी तपाईंको आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छौं। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार हुन तत्पर छौं।
VeTek अर्धचालकCVD SiC कोटिंग Epitaxy Susceptor उत्पादन पसलहरू: