सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर

चीनमा एक पेशेवर सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर निर्माता र आपूर्तिकर्ताको रूपमा, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर ग्रेफाइट सब्सट्रेटबाट बनेको र यसको सतहमा सिलिकन कार्बन सिरेमिक (SiC) कोटिंगको साथ लेपित उच्च-कार्यक्षमता हीटर हो। यसको समग्र सामग्री डिजाइनको साथ, यो उत्पादनले अर्धचालक निर्माणमा उत्कृष्ट तताउने समाधानहरू प्रदान गर्दछ। तपाईको सोधपुछलाई स्वागत छ।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

VeTek अर्धचालक सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरउच्च तापक्रम प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध र सिलिकन कार्बन सिरेमिक कोटिंगको पहिरन प्रतिरोधको साथ ग्रेफाइटको उत्कृष्ट विद्युतीय र थर्मल चालकता संयोजन गर्दछ, र कठोर अर्धचालक निर्माण वातावरणको लागि डिजाइन गरिएको छ।

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरमुख्यतया भ्याकुम कोटिंग (वाष्पीकरण) उपकरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ, र सामान्यतया प्रयोग गरिने विधिहरू PCD (प्लाज्मा केमिकल ड्राइङ) र PVD (भौतिक वाष्प निक्षेप) हुन्। यस उत्पादनले प्राविधिक प्रगतिलाई बढावा दिन र अर्धचालक उद्योगमा उत्पादन दक्षता सुधार गर्न महत्त्वपूर्ण भूमिका खेलेको छ।हामी ईमानदारीपूर्वक तपाईसँग थप सहयोगको लागि तत्पर छौं.

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरको सामग्री र संरचनात्मक विशेषताहरू निम्नानुसार छन्:

ग्रेफाइट सब्सट्रेट: ग्रेफाइट यसको उच्च थर्मल चालकता र कम थर्मल विस्तार गुणांक को लागी परिचित छ। यसले तापमान परिवर्तनहरूमा छिटो प्रतिक्रिया दिन सक्छ र उच्च तापमानमा संरचनात्मक स्थिरता कायम राख्न सक्छ।

सिलिकन कार्बन सिरेमिक कोटिंग: SiC कोटिंग रासायनिक वाष्प निक्षेप वा अन्य उन्नत प्रक्रियाहरू मार्फत ग्रेफाइट सतहमा समान रूपमा लेपित हुन्छ। SiC मा अत्यधिक उच्च कठोरता र रासायनिक जंग प्रतिरोध छ, जसले ग्रेफाइट सब्सट्रेटलाई उच्च-तापमान अक्सीकरण र संक्षारक वातावरणबाट जोगाउन सक्छ।

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरको विशेष उत्पादन संरचनात्मक डिजाइन निर्धारण गर्दछअर्धचालक प्रशोधन प्रक्रियामा यस उत्पादनको अपरिवर्तनीय उत्पादन फाइदाहरू:

कुशल र एकसमान तताउने:

थर्मल चालकता: ग्रेफाइटको उच्च थर्मल चालकताले हीटरलाई आवश्यक तापक्रममा छिटो पुग्न र कायम राख्न सक्षम बनाउँछ, र SiC कोटिंगले गर्मीको समान वितरण सुनिश्चित गर्दछ। यो विशेष गरी सेमीकन्डक्टर प्रक्रियाहरूको लागि महत्त्वपूर्ण छ जसलाई सटीक तापक्रम नियन्त्रण चाहिन्छ, जस्तै द्रुत थर्मल प्रशोधन (RTP) र रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD)।

तापमान एकरूपता: समान तातो वितरण मार्फत, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरले प्रभावकारी रूपमा थर्मल तनाव र तापमान ढाँचालाई कम गर्न सक्छ, सेमीकन्डक्टर वेफरहरूको स्थिरता र गुणस्तर स्थिरता सुनिश्चित गर्दै ताप प्रक्रियामा।

विरोधी जंग संरक्षण:

रासायनिक प्रतिरोध: SiC कोटिंगको रासायनिक जंग प्रतिरोधले हीटरलाई ग्रेफाइट सब्सट्रेटमा हुने क्षतिलाई बेवास्ता गरी संक्षारक ग्यास र रासायनिक वातावरणमा स्थिर रूपमा र लामो समयसम्म सञ्चालन गर्न सक्षम बनाउँछ। यो सुविधा विशेष गरी रासायनिक भाप डिपोजिसन (CVD) र प्लाज्मा एन्हान्स्ड केमिकल भाप डिपोजिसन (PECVD) जस्ता प्रक्रियाहरूमा महत्त्वपूर्ण छ।

ओक्सीकरण प्रतिरोध: उच्च तापक्रममा, SiC कोटिंगले ग्रेफाइट सब्सट्रेटको अक्सिडेशन रोक्न सक्छ, हीटरको सेवा जीवन विस्तार गर्न सक्छ, र उपकरण मर्मतको आवृत्ति र लागत घटाउन सक्छ।

कण प्रदूषण कम गर्नुहोस्:

सतह स्थिरता: SiC कोटिंगले पहिरन-प्रतिरोधी मात्र होइन, तर थर्मल साइकल वा रासायनिक प्रतिक्रियाहरूको कारणले कणहरूलाई सामग्रीको सतहबाट खस्नबाट पनि रोक्छ, जसले गर्दा अर्धचालक निर्माणको क्रममा हुन सक्ने कण प्रदूषणको जोखिम कम गर्छ र उच्च-सफाई प्रक्रिया वातावरण सुनिश्चित गर्दछ।

प्रक्रिया विश्वसनीयता र दक्षता सुधार गर्नुहोस्:

लामो जीवन डिजाइन: ग्रेफाइटको मेकानिकल बल र SiC कोटिंगको पहिरन प्रतिरोधको संयोजनको कारण, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटरले कठोर प्रक्रिया परिस्थितिहरूमा लामो समयसम्म उच्च-दक्षता सञ्चालन कायम राख्न सक्छ, उपकरणको समग्र विश्वसनीयतामा उल्लेखनीय सुधार गर्दछ।

कुशल ऊर्जा उपयोग: ग्रेफाइटको उच्च थर्मल चालकता र SiC कोटिंगको उच्च-तापमान स्थिरताले तापक्रम नियन्त्रण शुद्धता सुधार गर्दै ऊर्जा खपत कम गर्न हिटरलाई सक्षम बनाउँछ, जसले गर्दा अर्धचालक उत्पादनको समग्र दक्षतामा सुधार हुन्छ।

को आधारभूत भौतिक गुणहरूसिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग ग्रेफाइट हीटर: