सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग

चीनमा एक पेशेवर सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग निर्माता र आपूर्तिकर्ताको रूपमा, भेटेक सेमीकन्डक्टरको सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग व्यापक रूपमा सेमीकन्डक्टर उत्पादन उपकरणहरूको मुख्य भागहरूमा प्रयोग गरिन्छ, विशेष गरी जब CVD र PECVD प्रक्रियाहरू संलग्न हुन्छन्। तपाईको सोधपुछलाई स्वागत छ।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

Vetek अर्धचालक सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगअत्यधिक कडा र पहिरन-प्रतिरोधी सिलिकन कार्बाइड (SiC) सामग्रीबाट बनेको उच्च प्रदर्शन सुरक्षात्मक कोटिंग हो, जसले उत्कृष्ट रासायनिक जंग प्रतिरोध र उच्च तापमान स्थिरता प्रदान गर्दछ। यी गुणहरू अर्धचालक उत्पादनमा महत्त्वपूर्ण छन्, त्यसैले सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग व्यापक रूपमा सेमीकन्डक्टर उत्पादन उपकरणहरूको मुख्य भागहरूमा प्रयोग गरिन्छ।

सेमीकन्डक्टर उत्पादनमा भेटेक सेमिकन्डक्टर सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगले खेलेको विशिष्ट भूमिका होनिम्नानुसार:

उपकरण स्थायित्व बढाउनुहोस्: सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगले यसको अत्यधिक उच्च कठोरता र पहिरन प्रतिरोधको साथ अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूको लागि उत्कृष्ट सतह सुरक्षा प्रदान गर्दछ। विशेष गरी उच्च-तापमान, अत्यधिक संक्षारक प्रक्रिया वातावरणमा, जस्तै रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) र प्लाज्मा नक्काशी, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगले प्रभावकारी रूपमा रासायनिक क्षरण वा भौतिक पहिरनका कारण उपकरणको सतहमा हुने क्षतिलाई रोक्न सक्छ, जसले गर्दा यसको सेवा जीवन उल्लेखनीय रूपमा विस्तार हुन्छ। बारम्बार प्रतिस्थापन र मर्मतसम्भारको कारणले गर्दा उपकरण र डाउनटाइम घटाउने।

प्रक्रिया शुद्धता सुधार गर्नुहोस्: अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा, कुनै पनि सानो प्रदूषणले उत्पादन दोषहरू निम्त्याउन सक्छ। सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगको रासायनिक जडताले यसलाई चरम परिस्थितिहरूमा स्थिर रहन अनुमति दिन्छ, सामग्रीलाई कण वा अशुद्धताहरू छोड्नबाट रोक्छ, र प्रक्रियाको क्रममा वातावरणको शुद्धता सुनिश्चित गर्दछ। यो विशेष गरी PECVD र आयन प्रत्यारोपण जस्ता उच्च परिशुद्धता र उच्च सफाईको आवश्यकता पर्ने निर्माण चरणहरूको लागि महत्त्वपूर्ण छ।

थर्मल व्यवस्थापन अनुकूलन गर्नुहोस्: उच्च-तापमान अर्धचालक प्रशोधनमा, जस्तै द्रुत थर्मल प्रशोधन (RTP) र अक्सिडेशन प्रक्रियाहरूमा, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगको उच्च थर्मल चालकताले उपकरण भित्र एक समान तापक्रम वितरणलाई सक्षम बनाउँछ। यसले तापक्रमको उतार चढावको कारणले हुने थर्मल तनाव र सामग्रीको विकृतिलाई कम गर्न मद्दत गर्छ, जसले गर्दा उत्पादनको उत्पादनको शुद्धता र स्थिरतामा सुधार हुन्छ।

जटिल प्रक्रिया वातावरण समर्थन: जटिल वातावरण नियन्त्रण आवश्यक पर्ने प्रक्रियाहरूमा, जस्तै ICP नक्काशी र PSS नक्काशी प्रक्रियाहरूमा, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटरको स्थिरता र अक्सीकरण प्रतिरोधले लामो-समय सञ्चालनमा उपकरणको स्थिर प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ, सामग्री गिरावट वा उपकरणको जोखिम कम गर्दछ। वातावरणीय परिवर्तनको कारणले हुने क्षति ।

Vetek अर्धचालकउत्पादन र उच्च प्रदर्शन आपूर्ति मा ध्यान केन्द्रितसिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग, र अर्धचालक उद्योगको लागि उन्नत प्रविधि र उत्पादन समाधानहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ।हामी ईमानदारीपूर्वक चीन मा आफ्नो दीर्घकालीन साझेदार हुन आशा.

को आधारभूत भौतिक गुणहरूसिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग: