सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर

VeTek अर्धचालकसिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर उच्च तापक्रम र कठोर वातावरणको लागि डिजाइन गरिएको हीटर हो। यसले उपकरणलाई उत्कृष्ट ताप प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध र थर्मल चालकता प्रदान गर्न ताप तत्वको सतहमा सिलिकन कार्बन सिरेमिक कोटिंग (SiC) को तह लगाउँछ। 

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटरमुख्य रूपमा भ्याकुम कोटिंग (वाष्पीकरण) उपकरणमा प्रयोग गरिन्छ। सामान्यतया प्रयोग गरिएका विधिहरू PCD (प्लाज्मा केमिकल ड्राइङ) र PVD (भौतिक वाष्प निक्षेप) हुन्, जुन अर्धचालक निर्माण र अन्य उच्च-मांग औद्योगिक अनुप्रयोगहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर को उच्च प्रदर्शन कोटिंग डिजाइन संग संयुक्त,यसले उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूको लागि उत्कृष्ट ताप समाधान प्रदान गर्न सक्छ.

उत्कृष्ट थर्मल चालकता: SiC सामग्रीमा उत्कृष्ट थर्मल चालकता छ, यो सुनिश्चित गर्दै कि हीटरले कार्य क्षेत्रमा समान ताप वितरण प्राप्त गर्न सक्छ र तापमान ढाँचा कम गर्न सक्छ।

समान गर्मी वितरण प्रदान गर्नुहोस्: सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटरले तताउने क्षेत्रमा समान तापक्रम वितरण प्राप्त गर्न SiC सामग्रीको उच्च थर्मल चालकता प्रयोग गर्दछ। विभिन्न उच्च-तापमान प्रक्रियाहरू जस्तै द्रुत थर्मल प्रशोधन (RTP), फैलावट र अक्सिडेशन, स्थानीय अत्यधिक ताप वा असमान तापक्रमको कारणले हुने उत्पादन दोषहरूबाट बच्न अर्धचालक वेफरहरूको समान ताप उपचार सुनिश्चित गर्न यो महत्त्वपूर्ण छ।

उच्च तापमान सहिष्णुता: SiC कोटिंगले हीटरलाई अत्यधिक उच्च तापक्रम, सामान्यतया 1600 °C सम्म, विभिन्न उच्च-तापमान प्रशोधन प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त, सामना गर्न सक्षम बनाउँछ।

गर्मी प्रतिरोध सुधार: कोटिंगले अत्यधिक उच्च तापक्रमको सामना गर्न सक्ने भएकोले, यसले दीर्घकालीन उच्च-तापमान सञ्चालनको आवश्यकता पर्ने प्रक्रियाहरूमा राम्रो प्रदर्शन गर्छ। उदाहरणका लागि, रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रक्रियाहरूमा, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटरले उच्च तापमानमा उपकरणको दीर्घकालीन स्थिर सञ्चालन सुनिश्चित गर्न सक्छ र लगातार ताप प्रदर्शन कायम राख्न सक्छ, जसले गर्दा प्रक्रिया दोहोर्याउने क्षमता र विश्वसनीयतामा सुधार हुन्छ।

रासायनिक जंग प्रतिरोध: SiC कोटिंगमा एसिड, क्षार र संक्षारक ग्याँसहरूको लागि अत्यधिक उच्च प्रतिरोध छ, र एक जटिल रासायनिक वायुमण्डल वातावरणमा लामो समयसम्म स्थिर रहन सक्छ, उपकरणको जीवन विस्तार गर्दछ। 

उपकरण को जीवन विस्तार: SiC कोटिंगमा उत्कृष्ट अक्सीकरण प्रतिरोध र जंग प्रतिरोध छ, र प्रभावकारी रूपमा उच्च तापमानमा रासायनिक क्षरण र ओक्सीकरण प्रतिरोध गर्न सक्छ। यो सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियामा धेरै महत्त्वपूर्ण छ, विशेष गरी संक्षारक ग्याँस र रसायनहरू ह्यान्डल गर्ने वातावरणमा। कोटिंगको सुरक्षात्मक प्रभावले हीटरको सेवा जीवनलाई उल्लेखनीय रूपमा विस्तार गर्न सक्छ र उपकरण प्रतिस्थापन र मर्मत लागतको आवृत्ति घटाउन सक्छ।

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटरको आधारभूत भौतिक गुणहरू:

VeTek सेमीकन्डक्टर सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर पसलहरू:

VeTek अर्धचालक चिप epitaxy उद्योग श्रृंखला को सिंहावलोकन: