VeTek सेमीकन्डक्टरको उत्पादन, SiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रियाको लागि ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग उत्पादनहरू, सिलिकन कार्बाइड (SiC) क्रिस्टलको वृद्धि इन्टरफेससँग सम्बन्धित चुनौतीहरूलाई सम्बोधन गर्दछ, विशेष गरी क्रिस्टलको किनारमा हुने व्यापक दोषहरू। TaC कोटिंग लागू गरेर, हामीले क्रिस्टलको वृद्धि गुणस्तर सुधार गर्ने र क्रिस्टलको केन्द्रको प्रभावकारी क्षेत्र बढाउने लक्ष्य राख्छौं, जुन छिटो र बाक्लो वृद्धि हासिल गर्न महत्त्वपूर्ण छ।
TaC कोटिंग उच्च-गुणस्तर SiC एकल क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रियाको लागि एक कोर प्राविधिक समाधान हो। हामीले रासायनिक भाप डिपोजिसन (CVD) को प्रयोग गरेर सफलतापूर्वक TaC कोटिंग टेक्नोलोजी विकास गरेका छौं, जुन अन्तर्राष्ट्रिय स्तरमा उन्नत स्तरमा पुगेको छ। TaC मा असाधारण गुणहरू छन्, जसमा 3880°C सम्मको उच्च पिघलने बिन्दु, उत्कृष्ट मेकानिकल बल, कठोरता, र थर्मल आघात प्रतिरोध। उच्च तापमान र अमोनिया, हाइड्रोजन र सिलिकन युक्त स्टीम जस्ता पदार्थहरूको सम्पर्कमा आउँदा यसले राम्रो रासायनिक जडता र थर्मल स्थिरता पनि देखाउँछ।
VeTek सेमीकन्डक्टरको ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंगले SiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रियामा किनारा-सम्बन्धित मुद्दाहरूलाई सम्बोधन गर्न समाधान प्रदान गर्दछ, विकास प्रक्रियाको गुणस्तर र दक्षता सुधार गर्दै। हाम्रो उन्नत TaC कोटिंग टेक्नोलोजीको साथ, हामी तेस्रो पुस्ताको अर्धचालक उद्योगको विकासलाई समर्थन गर्ने र आयातित मुख्य सामग्रीहरूमा निर्भरता कम गर्ने लक्ष्य राख्छौं।
TaC कोटेड क्रुसिबल, TaC कोटिंग भएको बीउ होल्डर, TaC कोटिंग गाइड रिङ PVT विधिद्वारा SiC र AIN एकल क्रिस्टल फर्नेसका महत्त्वपूर्ण भागहरू हुन्।
- उच्च तापमान प्रतिरोध
-उच्च शुद्धता, SiC कच्चा माल र SiC एकल क्रिस्टलहरू प्रदूषित गर्दैन।
- अल स्टीम र N₂ जंग प्रतिरोधी
क्रिस्टल तयारी चक्र छोटो बनाउन उच्च eutectic तापमान (AlN संग)।
- पुन: प्रयोग गर्न मिल्ने (200h सम्म), यसले त्यस्ता एकल क्रिस्टलहरूको तयारीको दिगोपन र दक्षतामा सुधार गर्दछ।
TaC कोटिंग को भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (g/cm³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | ६.३ १०-६/के |
कठोरता (HK) | 2000 HK |
प्रतिरोध | १×१०-५ ओम* सेमी |
थर्मल स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट आकार परिवर्तन | -10~-20um |
कोटिंग मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |
VeTek सेमीकन्डक्टर चीनको अग्रणी TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर क्यारियर निर्माता र नवप्रवर्तक हो।हामी धेरै वर्षदेखि SiC र TaC कोटिंगमा विशेषज्ञता भएका छौं।हाम्रो TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर वाहकमा उच्च तापक्रम प्रतिरोध र पहिरन-प्रतिरोधी छ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।
थप पढ्नुहोस्सोधपुछ पठाउनुहोस्