TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर क्यारियर

VeTek सेमीकन्डक्टर चीनको अग्रणी TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर क्यारियर निर्माता र नवप्रवर्तक हो।हामी धेरै वर्षदेखि SiC र TaC कोटिंगमा विशेषज्ञता भएका छौं।हाम्रो TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर वाहकमा उच्च तापक्रम प्रतिरोध र पहिरन-प्रतिरोधी छ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

तपाईं VeTek सेमीकन्डक्टरबाट अनुकूलित TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर क्यारियर किन्नको लागि आश्वस्त हुन सक्नुहुन्छ। हामी तपाईसँग सहयोग गर्न तत्पर छौं, यदि तपाई थप जान्न चाहनुहुन्छ भने, तपाईले हामीलाई अब परामर्श गर्न सक्नुहुन्छ, हामी तपाईलाई समयमै जवाफ दिनेछौं!

VeTek सेमीकन्डक्टर TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर क्यारियरले एपिटाक्सी रिएक्टरमा वेफरहरूसँग सीधा अन्तरक्रिया गर्छ, दक्षता र कार्यसम्पादन बढाउँछ। सिलिकन कार्बाइड वा ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंगको विकल्पको साथ, VeTek सेमीकन्डक्टर TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर क्यारियरले विस्तारित आयु प्रदान गर्दछ, ट्यान्टलम कार्बाइडसँग 2-3 गुणा लामो। LPE SiC epitaxy फर्नेसहरू, JSG, NASO epitaxial फर्नेसहरू सहित विभिन्न मेसिन मोडेलहरूसँग उपयुक्त।

VeTek सेमीकन्डक्टर TaC-लेपित ग्रेफाइट क्यारियरले सटीक प्रतिक्रिया स्टोइचियोमेट्री सुनिश्चित गर्दछ, अशुद्धता माइग्रेसन रोक्छ, र 2000 डिग्री सेल्सियस भन्दा बाहिर तापक्रम स्थिरता कायम राख्छ। यसले H2, NH3, SiH4, र Si को लागि उल्लेखनीय प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ, कठोर रासायनिक वातावरण विरुद्ध सुरक्षा। थर्मल झटकाहरूको सामना गर्दै, यसले कोटिंग डेलामिनेशन बिना छिटो परिचालन चक्र सक्षम गर्दछ।

VeTek अर्धचालक TaC कोटिंगले अति-उच्च शुद्धताको ग्यारेन्टी दिन्छ, अशुद्धताहरू हटाउँछ, र कन्फर्मल कभरेजलाई कडा आयामी सहिष्णुता सुनिश्चित गर्दछ। VeTek सेमीकन्डक्टरको उन्नत ग्रेफाइट प्रशोधन क्षमताहरूसँग, हामी तपाईंको अनुकूलन आवश्यकताहरू पूरा गर्न सुसज्जित छौं। तपाईंलाई कोटिंग सेवाहरू वा व्यापक समाधानहरू चाहिन्छ, विशेषज्ञ इन्जिनियरहरूको हाम्रो टोली तपाईंको विशिष्ट अनुप्रयोगहरूको लागि उत्तम समाधान डिजाइन गर्न तयार छ। तपाईंको आवश्यकता र अपेक्षाहरू अनुरूप उच्च-गुणस्तर उत्पादनहरू डेलिभर गर्न हामीलाई विश्वास गर्नुहोस्।

PVT विधि SiC क्रिस्टल वृद्धि

TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर क्यारियरको उत्पादन प्यारामिटर

TaC कोटिंग को भौतिक गुण
घनत्व	14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	६.३ १०-६/के
कठोरता (HK)	2000 HK
प्रतिरोध	१×१०-५ ओम* सेमी
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइट आकार परिवर्तन	-10~-20um
कोटिंग मोटाई	≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)