माथिल्लो हाफमून भाग SiC लेपित

VeTek सेमीकन्डक्टर चीनमा अनुकूलित माथिल्लो हाफमून पार्ट SiC कोटेडको एक अग्रणी आपूर्तिकर्ता हो, २० वर्ष भन्दा बढीको लागि उन्नत सामग्रीहरूमा विशेषज्ञता। VeTek सेमीकन्डक्टर अपर हाफमून पार्ट SiC लेपित विशेष रूपमा SiC epitaxial उपकरणहरूको लागि डिजाइन गरिएको छ, प्रतिक्रिया कक्षमा एक महत्त्वपूर्ण घटकको रूपमा सेवा गर्दै। अल्ट्रा-शुद्ध, अर्धचालक-ग्रेड ग्रेफाइटबाट बनेको, यसले उत्कृष्ट प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ। हामी तपाईंलाई चीनमा हाम्रो कारखाना भ्रमण गर्न आमन्त्रित गर्दछौं।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

व्यावसायिक निर्माताको रूपमा, हामी तपाईंलाई उच्च गुणस्तरको माथिल्लो हाफमून पार्ट SiC लेपित प्रदान गर्न चाहन्छौं।

VeTek अर्धचालक माथिल्लो हाफमून भाग SiC लेपित विशेष रूपमा SiC epitaxial चेम्बरको लागि डिजाइन गरिएको हो। तिनीहरूसँग अनुप्रयोगहरूको विस्तृत दायरा छ र विभिन्न उपकरण मोडेलहरूसँग उपयुक्त छन्।

आवेदन परिदृश्य:

VeTek सेमीकन्डक्टरमा, हामी उच्च-गुणस्तरको माथिल्लो हाफमून पार्ट SiC लेपित निर्माणमा विशेषज्ञ छौं। हाम्रो SiC र TaC लेपित उत्पादनहरू विशेष रूपमा SiC epitaxial चेम्बरहरूको लागि डिजाइन गरिएको हो र विभिन्न उपकरण मोडेलहरूसँग व्यापक अनुकूलता प्रदान गर्दछ।

VeTek अर्धचालक माथिल्लो हाफमून भाग SiC लेपित SiC epitaxial चेम्बरमा घटकको रूपमा कार्य गर्दछ। तिनीहरूले नियन्त्रित तापमान अवस्था र वेफरहरूसँग अप्रत्यक्ष सम्पर्क सुनिश्चित गर्दछ, 5 पीपीएम भन्दा कम अशुद्धता सामग्री कायम राख्छ।

इष्टतम एपिटेक्सियल लेयर गुणस्तर सुनिश्चित गर्न, हामी मोटाई र डोपिङ एकाग्रता एकरूपता जस्ता महत्वपूर्ण प्यारामिटरहरू सावधानीपूर्वक निगरानी गर्छौं। हाम्रो मूल्याङ्कनमा उत्कृष्ट उत्पादन गुणस्तर प्राप्त गर्नको लागि फिल्म मोटाई, क्यारियर एकाग्रता, एकरूपता, र सतहको खुरदरापन डेटाको विश्लेषण समावेश छ।

VeTek सेमीकन्डक्टर माथिल्लो हाफमून पार्ट SiC लेपित LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH, र थप सहित विभिन्न उपकरण मोडेलहरूसँग उपयुक्त छ।

आज हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस् हाम्रो उच्च-गुणस्तरको माथिल्लो हाफमून पार्ट SiC लेपित वा हाम्रो कारखानाको भ्रमणको तालिका पत्ता लगाउन।

CVD SiC कोटिंगको आधारभूत भौतिक गुणहरू:

CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण
सम्पत्ति	सामान्य मान
क्रिस्टल संरचना	FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख
घनत्व	३.२१ ग्राम/सेमी³
कठोरता	2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज साइज	2~10μm
रासायनिक शुद्धता	९९.९९९९५%
गर्मी क्षमता	640 J·kg-1·K-1
उदात्तीकरण तापमान	2700 ℃
लचिलो शक्ति	415 MPa RT 4-बिन्दु
युवाको मोडुलस	430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता	300W·m-1·K-1
थर्मल विस्तार (CTE)	4.5×10-6K-1