VeTek सेमीकन्डक्टर चीनमा अनुकूलित अल्ट्रा प्योर ग्रेफाइट लोअर हाफमूनको एक प्रमुख आपूर्तिकर्ता हो, धेरै वर्षदेखि उन्नत सामग्रीहरूमा विशेषज्ञता। हाम्रो अल्ट्रा प्योर ग्रेफाइट लोअर हाफमुन विशेष रूपमा SiC एपिटेक्सियल उपकरणहरूको लागि डिजाइन गरिएको छ, उत्कृष्ट प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दै। अल्ट्रा-शुद्ध आयातित ग्रेफाइटबाट बनेको, यसले विश्वसनीयता र स्थायित्व प्रदान गर्दछ। हाम्रो उच्च-गुणस्तर अल्ट्रा शुद्ध ग्रेफाइट तल्लो हाफमून प्रत्यक्ष रूपमा अन्वेषण गर्न चीनमा हाम्रो कारखाना भ्रमण गर्नुहोस्।
VeTek सेमीकन्डक्टर अल्ट्रा शुद्ध ग्रेफाइट लोअर हाफमून प्रदान गर्न समर्पित एक पेशेवर निर्माता हो। हाम्रा उत्पादनहरू अल्ट्रा प्योर ग्रेफाइट लोअर हाफमुन विशेष रूपमा SiC epitaxial चेम्बरहरूको लागि डिजाइन गरिएको हो र विभिन्न उपकरण मोडेलहरूसँग उत्कृष्ट प्रदर्शन र अनुकूलता प्रदान गर्दछ।
विशेषताहरु:
जडान: VeTek सेमीकन्डक्टर अल्ट्रा शुद्ध ग्रेफाइट तल्लो हाफमुन क्वार्ट्ज ट्युबहरूसँग जडान गर्न डिजाइन गरिएको छ, क्यारियर आधारको रोटेशन ड्राइभ गर्न ग्यास प्रवाहलाई सहज बनाउँदै।
तापमान नियन्त्रण: उत्पादनले तापमान नियन्त्रणको लागि अनुमति दिन्छ, प्रतिक्रिया कक्ष भित्र इष्टतम अवस्थाहरू सुनिश्चित गर्दछ।
गैर-सम्पर्क डिजाइन: प्रतिक्रिया कक्ष भित्र स्थापित, हाम्रो अल्ट्रा शुद्ध ग्रेफाइट तल्लो हाफमुनले सीधा वेफर्सलाई सम्पर्क गर्दैन, प्रक्रियाको अखण्डता सुनिश्चित गर्दै।
आवेदन परिदृश्य:
हाम्रो अल्ट्रा प्योर ग्रेफाइट लोअर हाफमुनले SiC एपिटेक्सियल चेम्बरहरूमा एक महत्वपूर्ण घटकको रूपमा काम गर्दछ, जहाँ यसले 5 ppm भन्दा कम अशुद्धता सामग्री कायम राख्न मद्दत गर्दछ। मोटाई र डोपिङ एकाग्रता एकरूपता जस्ता प्यारामिटरहरू नजिकबाट निगरानी गरेर, हामी उच्चतम गुणस्तरको एपिटेक्सियल तहहरू सुनिश्चित गर्छौं।
अनुकूलता:
VeTek सेमीकन्डक्टरको अल्ट्रा प्योर ग्रेफाइट लोअर हाफमून LPE, NAURA, JSG, CETC, NASO TECH, र यस्तै अन्य उपकरण मोडेलहरूको विस्तृत श्रृंखलासँग उपयुक्त छ।
हामी तपाईंलाई हाम्रो उच्च-गुणस्तर अल्ट्रा शुद्ध ग्रेफाइट तल्लो हाफमुन प्रत्यक्ष रूपमा अन्वेषण गर्न चीनमा हाम्रो कारखाना भ्रमण गर्न आमन्त्रित गर्दछौं।
CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण | |
सम्पत्ति | सामान्य मान |
क्रिस्टल संरचना | FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख |
घनत्व | ३.२१ ग्राम/सेमी³ |
कठोरता | 2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड) |
अनाज साइज | 2~10μm |
रासायनिक शुद्धता | ९९.९९९९५% |
गर्मी क्षमता | 640 J·kg-1·K-1 |
उदात्तीकरण तापमान | 2700 ℃ |
लचिलो शक्ति | 415 MPa RT 4-बिन्दु |
युवाको मोडुलस | 430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
थर्मल चालकता | 300W·m-1·K-1 |
थर्मल विस्तार (CTE) | 4.5×10-6K-1 |