ट्यान्टलम कार्बाइड लेपित चक

VeTek सेमीकन्डक्टर चीनको एक अग्रणी ट्यान्टालम कार्बाइड लेपित चक निर्माता र आविष्कारक हो। हामी धेरै वर्षदेखि TaC कोटिंगमा विशेषज्ञता भएका छौं। हाम्रा उत्पादनहरूको उच्च शुद्धता र 2000℃ सम्म उच्च तापक्रम प्रतिरोध छ। हामी तपाईंको दीर्घकालीन बन्नको लागि तत्पर छौं। चीन मा साझेदार।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

VeTek सेमीकन्डक्टरले उच्च गुणस्तरको ट्यान्टालम कार्बाइड कोटेड चक, प्रतिस्पर्धी मूल्यको साथ SiC कोटिंग पार्ट्स आपूर्ति गर्दछ। हामीलाई सोधपुछ गर्न स्वागत छ।VeTek सेमीकन्डक्टर ट्यान्टालम कार्बाइड लेपित चक, विशेष गरी AIXTRON G10 MOCVD प्रणालीको लागि डिजाइन गरिएको। यस सहायकले सेमीकन्डक्टर निर्माणमा दक्षता र गुणस्तर बढाउँछ, उत्कृष्ट प्रदर्शन र विश्वसनीयता प्रदान गर्दछ।

उच्च गुणस्तरको सामग्रीबाट बनाइएको र परिशुद्धताका साथ निर्मित, चकमा CVD ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) ले ग्रेफाइट सब्सट्रेट समावेश गरिएको छ। यो कोटिंग उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, उच्च शुद्धता, र उच्च तापमान को प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। यसले MOCVD प्रक्रियाहरूको माग अवस्थाहरूमा विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ।

चक विभिन्न सेमीकन्डक्टर वेफर आकारहरू समायोजन गर्न अनुकूलन योग्य छ, यसलाई विभिन्न उत्पादन आवश्यकताहरूको लागि उपयुक्त बनाउँदै। यसको बलियो निर्माणले वेफर क्यारियरहरू र ससेप्टरहरूसँग सम्बन्धित डाउनटाइम र मर्मत लागतलाई कम गर्छ।

VeTek सेमीकन्डक्टर ट्यान्टालम कार्बाइड लेपित चकको साथ, AIXTRON G10 MOCVD प्रणालीले उच्च दक्षता र अर्धचालक निर्माणमा उत्कृष्ट परिणामहरू प्राप्त गर्दछ। यसको असाधारण थर्मल स्थिरता, विभिन्न वेफर आकारहरूसँग अनुकूलता, र भरपर्दो कार्यसम्पादनले यसलाई उत्पादन क्षमतालाई अनुकूलन गर्न र चुनौतीपूर्ण MOCVD वातावरणमा उत्कृष्ट परिणामहरू प्राप्त गर्नको लागि आवश्यक उपकरण बनाउँछ।

ट्यान्टलम कार्बाइड लेपित चक को उत्पादन प्यारामिटर

TaC कोटिंग को भौतिक गुण
घनत्व	14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	६.३ १०-६/के
कठोरता (HK)	2000 HK
प्रतिरोध	१×१०-५ ओम* सेमी
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइट आकार परिवर्तन	-10~-20um
कोटिंग मोटाई	≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)