TaC कोटिंग रोटेशन प्लेट

VeTek सेमीकन्डक्टरको TaC कोटिंग रोटेशन प्लेटमा उच्च शुद्धता संरचना, 5ppm भन्दा कमको अशुद्धता सामग्री, र बाक्लो र एकसमान संरचना छ, जुन LPE EPI प्रणाली, Aixtron प्रणाली, Nuflare प्रणाली, TEL CVD प्रणाली, VEECO प्रणाली, TEL मा प्रयोग गरिन्छ। प्रणालीहरू।

उत्कृष्ट यांत्रिक गुणहरू:

कोटिंग कठोरता 2300HV सम्म, उत्कृष्ट पहिरन प्रतिरोध संग।

कोटिंग र सब्सट्रेट बीचको आसंजन बलियो छ, र यो खस्न वा छील्न सजिलो छैन।

कोटिंग अझै पनि उच्च तापमान मा राम्रो संरचनात्मक स्थिरता कायम गर्न सक्छ।

उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध:

TaC सामग्री आफैंमा उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता र जंग प्रतिरोध छ।

VeTek अर्धचालकको कोटिंग्सले विभिन्न प्रकारका आक्रामक ग्यास वातावरणमा राम्रो प्रदर्शन गर्दछ।

प्रभावकारी रूपमा जंग क्षति बाट उपकरण को आन्तरिक घटक सुरक्षा गर्न सक्नुहुन्छ।

उच्च सतह समाप्त:

VeTek अर्धचालकले इच्छित फिनिश उत्पादन गर्न सटीक कोटिंग प्रक्रिया प्रयोग गर्दछ।

कम सतह खुरदरा कण संचय र निक्षेप कम गर्न मद्दत गर्छ।

कोटिंग स्थिरता राम्रो छ:

VeTek अर्धचालकसँग ब्याचहरू बीच लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित गर्न ध्वनि गुणस्तर नियन्त्रण प्रणाली छ।

कोटिंग मोटाई समान रूपमा वितरित गरिएको छ र त्यहाँ कुनै स्पष्ट स्थानीय दोषहरू छैनन्।

उत्कृष्ट व्यावहारिक अनुप्रयोग प्रदर्शन:

VeTek अर्धचालकको TaC कोटिंग व्यापक रूपमा घर र विदेशमा धेरै प्रसिद्ध epitaxial उपकरण निर्माताहरूमा प्रयोग गरिन्छ।

TaC लेपित रोटेशन प्लेटको उत्पादन भौतिक प्यारामिटर: