VeTek Semiconductor LPE PE3061S 6'' वेफर्स निर्माता र चीनमा आविष्कारकको लागि अग्रणी SiC कोटेड प्यानकेक ससेप्टर हो। हामी धेरै वर्षदेखि SiC कोटिंग सामग्रीमा विशेषज्ञता भएका छौं। हामी LPE PE3061S 6” को लागि विशेष रूपमा डिजाइन गरिएको SiC-कोटेड प्यानकेक ससेप्टर प्रस्ताव गर्छौं। । यो epitaxial ससेप्टर उच्च जंग प्रतिरोध, राम्रो गर्मी प्रवाह प्रदर्शन, राम्रो एकरूपता विशेषताहरु। हामी चीन मा हाम्रो कारखाना भ्रमण गर्न स्वागत छ।
व्यावसायिक निर्माताको रूपमा, VeTek सेमीकन्डक्टरले तपाईंलाई LPE PE3061S 6'' वेफरहरूको लागि उच्च गुणस्तरको SiC कोटेड प्यानकेक ससेप्टर प्रदान गर्न चाहन्छ।
VeTeK सेमीकन्डक्टर SiC लेपित प्यानकेक ससेप्टर LPE PE3061S 6" वेफर्सको लागि सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियाहरूमा प्रयोग हुने महत्वपूर्ण उपकरण हो।
उच्च-तापमान स्थिरता: SiC ले उत्कृष्ट उच्च-तापमान स्थिरता प्रदर्शन गर्दछ, उच्च-तापमान वातावरणमा यसको संरचना र प्रदर्शन कायम राख्छ।
उत्कृष्ट थर्मल चालकता: SiC को असाधारण थर्मल चालकता छ, छिटो र एकसमान ताप को लागी छिटो र समान तातो स्थानान्तरण सक्षम गर्दछ।
जंग प्रतिरोध: SiC मा उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता छ, विभिन्न ताप वातावरणमा जंग र अक्सीकरण प्रतिरोध गर्दछ।
समान तताउने वितरण: SiC-लेपित वेफर क्यारियरले एकसमान ताप वितरण प्रदान गर्दछ, तापक्रमको समयमा वेफरको सतहमा पनि तापक्रम सुनिश्चित गर्दछ।
सेमीकन्डक्टर उत्पादनको लागि उपयुक्त: Si epitaxy wafer वाहक व्यापक रूपमा अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ, विशेष गरी Si epitaxy वृद्धि र अन्य उच्च-तापमान ताप प्रक्रियाहरूको लागि।
सुधारिएको उत्पादन दक्षता: SiC-लेपित प्यानकेक ससेप्टरले छिटो र एकसमान तताउन सक्षम बनाउँछ, ताप समय घटाउँछ र उत्पादन दक्षता बढाउँछ।
सुनिश्चित गरिएको उत्पादनको गुणस्तर: समान तताउने वितरणले वेफर प्रशोधनको समयमा स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ, जसले उत्पादनको गुणस्तर सुधार गर्दछ।
विस्तारित उपकरण आयु: SiC सामग्रीले उत्कृष्ट गर्मी प्रतिरोध र रासायनिक स्थिरता प्रदान गर्दछ, प्यानकेक ससेप्टरको लामो आयुमा योगदान पुर्याउँछ।
अनुकूलित समाधानहरू: SiC-लेपित ससेप्टर, Si epitaxy वेफर क्यारियर ग्राहक आवश्यकताहरूको आधारमा विभिन्न आकार र विशिष्टताहरू अनुरूप गर्न सकिन्छ।
CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण | |
सम्पत्ति | सामान्य मान |
क्रिस्टल संरचना | FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख |
घनत्व | ३.२१ ग्राम/सेमी³ |
कठोरता | 2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड) |
अनाज साइज | 2~10μm |
रासायनिक शुद्धता | ९९.९९९९५% |
गर्मी क्षमता | 640 J·kg-1·K-1 |
उदात्तीकरण तापमान | 2700 ℃ |
फ्लेक्सरल शक्ति | 415 MPa RT 4-बिन्दु |
युवाको मोडुलस | 430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
थर्मल चालकता | 300W·m-1·K-1 |
थर्मल विस्तार (CTE) | 4.5×10-6K-1 |