अर्धचालक थर्मल छिड़काउने प्रविधि

सेमीकन्डक्टर थर्मल स्प्रेइङ टेक्नोलोजी एक उन्नत प्रक्रिया हो जसले कोटिंग बनाउनको लागि सब्सट्रेटको सतहमा पग्लिएको वा अर्ध-पग्लिएको अवस्थामा सामग्रीहरू स्प्रे गर्दछ। यो प्रविधि व्यापक रूपमा अर्धचालक निर्माणको क्षेत्रमा प्रयोग गरिन्छ, मुख्यतया सब्सट्रेटको सतहमा विशेष प्रकार्यहरू जस्तै चालकता, इन्सुलेशन, जंग प्रतिरोध, र अक्सीकरण प्रतिरोध जस्ता कोटिंग्स सिर्जना गर्न प्रयोग गरिन्छ। थर्मल स्प्रेइङ टेक्नोलोजीका मुख्य फाइदाहरूमा उच्च दक्षता, नियन्त्रण योग्य कोटिंग मोटाई, र राम्रो कोटिंग आसंजन समावेश छ, यसले उच्च परिशुद्धता र विश्वसनीयता चाहिने अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा विशेष रूपमा महत्त्वपूर्ण बनाउँछ।

अर्धचालकहरूमा थर्मल स्प्रेइङ प्रविधिको प्रयोग

प्लाज्मा बीम नक्काशी (सुक्खा नक्काशी)

सामान्यतया ग्लो डिस्चार्जको प्रयोगलाई चार्ज गरिएको कणहरू जस्तै प्लाज्मा र इलेक्ट्रोनहरू र अत्यधिक रासायनिक रूपमा सक्रिय तटस्थ परमाणुहरू र अणुहरू र फ्री रेडिकलहरू समावेश गर्ने प्लाज्मा सक्रिय कणहरू उत्पन्न गर्न जनाउँछ, जुन भागमा फैलिन्छ, खोदिएको सामग्रीसँग प्रतिक्रिया गर्दछ, वाष्पशील बनाउँछ। उत्पादनहरू र हटाइन्छ, जसले गर्दा ढाँचा स्थानान्तरणको नक्काशी प्रविधि पूरा हुन्छ। यो अल्ट्रा-लार्ज-स्केल इन्टिग्रेटेड सर्किटहरूको उत्पादनमा फोटोलिथोग्राफी टेम्प्लेटहरूबाट वेफर्सहरूमा फाइन ढाँचाहरूको उच्च-विश्वस्तता स्थानान्तरणलाई महसुस गर्न अपरिवर्तनीय प्रक्रिया हो।

Cl र F जस्ता सक्रिय फ्री रेडिकलहरूको ठूलो संख्या उत्पन्न हुनेछ। जब तिनीहरू सेमीकन्डक्टर यन्त्रहरू खोत्छन्, तिनीहरूले उपकरणका अन्य भागहरूको भित्री सतहहरू, एल्युमिनियम मिश्र र सिरेमिक संरचनात्मक भागहरू समावेश गर्दछ। यो बलियो इरोसनले ठूलो संख्यामा कणहरू उत्पादन गर्दछ, जसले उत्पादन उपकरणको बारम्बार मर्मतको आवश्यकता मात्र होइन, तर नक्काशी प्रक्रिया कक्षको विफलता र गम्भीर अवस्थामा उपकरणलाई क्षति पुर्‍याउँछ।

Y2O3 धेरै स्थिर रासायनिक र थर्मल गुणहरु संग एक सामग्री हो। यसको पग्लने बिन्दु 2400 ℃ माथि धेरै छ। यो बलियो संक्षारक वातावरणमा स्थिर रहन सक्छ। प्लाज्मा बमबारीमा यसको प्रतिरोधले कम्पोनेन्टहरूको सेवा जीवनलाई धेरै विस्तार गर्न सक्छ र नक्काशी कक्षमा कणहरू कम गर्न सक्छ।

मुख्यधाराको समाधान भनेको एचिङ च्याम्बर र अन्य मुख्य कम्पोनेन्टहरू जोगाउन उच्च-शुद्धता Y2O3 कोटिंग स्प्रे गर्नु हो।