चीन ओक्सीकरण र प्रसार फर्नेस निर्माता, आपूर्तिकर्ता, कारखाना

अक्सिडेशन र डिफ्युजन फर्नेसहरू विभिन्न क्षेत्रहरूमा प्रयोग गरिन्छ जस्तै सेमीकन्डक्टर उपकरणहरू, अलग उपकरणहरू, अप्टोइलेक्ट्रोनिक उपकरणहरू, पावर इलेक्ट्रोनिक उपकरणहरू, सौर्य कक्षहरू, र ठूलो मात्रामा एकीकृत सर्किट निर्माण। तिनीहरू प्रसार, अक्सिडेशन, एनिलिङ, मिश्र धातु, र वेफर्सको सिंटरिङ सहित प्रक्रियाहरूको लागि प्रयोग गरिन्छ।

VeTek सेमीकन्डक्टर उच्च शुद्धता ग्रेफाइट, सिलिकन कार्बाइड र अक्सिडेशन र डिफ्यूजन फर्नेसहरूमा क्वार्ट्ज कम्पोनेन्टहरूको उत्पादनमा विशेषज्ञता हासिल गर्ने एक अग्रणी निर्माता हो। हामी सेमीकन्डक्टर र फोटोभोल्टिक उद्योगहरूको लागि उच्च-गुणस्तरको फर्नेस कम्पोनेन्टहरू उपलब्ध गराउन प्रतिबद्ध छौं, र CVD-SiC, CVD-TaC, पाइरोकार्बन, आदि जस्ता सतह कोटिंग टेक्नोलोजीमा अगाडि छौं।

VeTek सेमीकन्डक्टर सिलिकन कार्बाइड कम्पोनेन्टका फाइदाहरू:

उच्च तापमान प्रतिरोध (1600 ℃ सम्म)

उत्कृष्ट थर्मल चालकता र थर्मल स्थिरता

राम्रो रासायनिक जंग प्रतिरोध

थर्मल विस्तार को कम गुणांक

उच्च शक्ति र कठोरता

लामो सेवा जीवन

अक्सिडेशन र डिफ्युजन फर्नेसहरूमा, उच्च तापमान र संक्षारक ग्यासहरूको उपस्थितिको कारण, धेरै कम्पोनेन्टहरूलाई उच्च-तापमान र जंग-प्रतिरोधी सामग्रीहरूको प्रयोग आवश्यक पर्दछ, जसमध्ये सिलिकन कार्बाइड (SiC) सामान्यतया प्रयोग हुने छनौट हो। निम्न सामान्य सिलिकन कार्बाइड कम्पोनेन्टहरू छन् जुन अक्सीकरण भट्टी र प्रसार भट्टीहरूमा पाइन्छ:

वेफर डुङ्गा

सिलिकन कार्बाइड वेफर बोट सिलिकन वेफरहरू बोक्न प्रयोग गरिने कन्टेनर हो, जसले उच्च तापक्रम सहन सक्छ र सिलिकन वेफरहरूसँग प्रतिक्रिया गर्दैन।

फर्नेस ट्यूब

फर्नेस ट्यूब डिफ्युजन फर्नेसको मुख्य भाग हो, सिलिकन वेफरहरू समायोजन गर्न र प्रतिक्रिया वातावरण नियन्त्रण गर्न प्रयोग गरिन्छ। सिलिकन कार्बाइड फर्नेस ट्यूबहरूमा उत्कृष्ट उच्च-तापमान र जंग प्रतिरोध प्रदर्शन छ।

बफल प्लेट

भट्टी भित्र वायु प्रवाह र तापमान वितरण विनियमित गर्न प्रयोग गरिन्छ

Thermocouple संरक्षण ट्यूब

तापक्रम मापन गर्ने थर्मोकलहरूलाई संक्षारक ग्यासहरूसँग प्रत्यक्ष सम्पर्कबाट जोगाउन प्रयोग गरिन्छ।

क्यान्टिलिभर प्याडल

सिलिकन कार्बाइड क्यान्टिलिभर प्याडलहरू उच्च तापक्रम र जंग प्रतिरोधी हुन्छन्, र सिलिकन डुङ्गाहरू वा क्वार्ट्ज डुङ्गाहरू सिलिकन वेफरहरू फैलाउन फर्नेस ट्यूबहरूमा ढुवानी गर्न प्रयोग गरिन्छ।

ग्याँस इन्जेक्टर

भट्टीमा प्रतिक्रिया ग्याँस परिचय गर्न प्रयोग गरिन्छ, यो उच्च तापमान र जंग प्रतिरोधी हुनु आवश्यक छ।

डुङ्गा वाहक

सिलिकन कार्बाइड वेफर डुङ्गा वाहक सिलिकन वेफरहरूलाई ठीक गर्न र समर्थन गर्न प्रयोग गरिन्छ, जसमा उच्च शक्ति, जंग प्रतिरोध, र राम्रो संरचनात्मक स्थिरता जस्ता फाइदाहरू छन्।

भट्टीको ढोका

सिलिकन कार्बाइड कोटिंग्स वा कम्पोनेन्टहरू भट्टीको ढोका भित्र पनि प्रयोग गर्न सकिन्छ।

ताप तत्व

सिलिकन कार्बाइड तताउने तत्वहरू उच्च तापमान, उच्च शक्तिको लागि उपयुक्त छन्, र चाँडै तापमान 1000 ℃ मा बढाउन सक्छ।

SiC लाइनर

फर्नेस ट्यूबहरूको भित्री पर्खालको रक्षा गर्न प्रयोग गरिन्छ, यसले गर्मी ऊर्जाको हानि कम गर्न र उच्च तापक्रम र उच्च दबाव जस्ता कठोर वातावरणको सामना गर्न मद्दत गर्न सक्छ।