तेर्सो SiC वेफर क्यारियर

VeTek अर्धचालक एक पेशेवर निर्माता र TaC लेपित गाइड रिंग, तेर्सो SiC वेफर वाहक, र चीन मा SiC लेपित susceptors को आपूर्तिकर्ता हो। हामी सेमीकन्डक्टर उद्योगको लागि उत्तम प्राविधिक समर्थन र अन्तिम उत्पादन समाधानहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छौं। हामीलाई सम्पर्क गर्न स्वागत छ।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

VeTek अर्धचालकतेर्सो SiC वेफर क्यारियर/ डुङ्गाको अत्यधिक उच्च पिघलने बिन्दु (लगभग 2700 डिग्री सेल्सियस) छ, जसले सक्षम गर्दछतेर्सो SiC वेफर क्यारियर/ डुङ्गा विरूपण वा गिरावट बिना उच्च तापमान वातावरणमा स्थिर रूपमा काम गर्न। यो सुविधा विशेष गरी सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियामा महत्त्वपूर्ण छ, विशेष गरी उच्च-तापमान एनिलिङ वा रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) जस्ता प्रक्रियाहरूमा।

दतेर्सो SiC वेफर क्यारियर/ डुङ्गाले विशेष रूपमा वेफर क्यारियरहरू बोक्ने प्रक्रियामा निम्न भूमिका खेल्छ:

सिलिकन वेफर बोक्ने र समर्थन: तेर्सो SiC वेफर डुङ्गा मुख्यतया अर्धचालक निर्माणको क्रममा सिलिकन वेफरहरू बोक्न र समर्थन गर्न प्रयोग गरिन्छ। यसले धेरै सिलिकन वेफर्सहरू सँगै व्यवस्थित गर्न सक्छ कि तिनीहरू सम्पूर्ण प्रशोधन प्रक्रियामा राम्रो स्थिति र स्थिरतामा रहन्छन्।

समान तताउने र शीतलन: SiC को उच्च थर्मल चालकताको कारण, वेफर डुङ्गाले प्रभावकारी रूपमा सबै सिलिकन वेफरहरूमा गर्मी वितरण गर्न सक्छ। यसले उच्च-तापमान प्रशोधनको क्रममा सिलिकन वेफर्सको समान ताप वा शीतलन प्राप्त गर्न मद्दत गर्दछ, प्रशोधन प्रक्रियाको स्थिरता र विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्दछ।

प्रदूषण रोक्नुहोस्: SiC को रासायनिक स्थिरताले यसलाई उच्च-तापमान र संक्षारक ग्यास वातावरणमा राम्रो प्रदर्शन गर्न सक्षम बनाउँछ, जसले गर्दा सिलिकन वेफर्सको शुद्धता र गुणस्तर सुनिश्चित गर्दै सम्भावित दूषित पदार्थहरू वा रिएक्टेन्टहरूमा सिलिकन वेफरको जोखिम घटाउँछ।

वास्तवमा, तेर्सो SiC वेफर डुङ्गाले यसको अद्वितीय उत्पादन विशेषताहरूको कारणले माथिको भूमिका खेल्न सक्छ:

उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता: SiC सामग्रीमा विभिन्न रासायनिक मिडियाको लागि उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध छ। संक्षारक ग्याँसहरू वा तरल पदार्थहरू प्रशोधन गर्ने प्रक्रियामा, SiC वेफर डुङ्गाले प्रभावकारी रूपमा रासायनिक जंगको प्रतिरोध गर्न सक्छ र सिलिकन वेफरहरूलाई प्रदूषण वा क्षतिबाट जोगाउन सक्छ।

उच्च थर्मल चालकता: SiC को उच्च थर्मल चालकताले वाहक प्रक्रियामा समान रूपमा गर्मी वितरण गर्न र गर्मी संचय कम गर्न मद्दत गर्दछ। यसले सटीक प्रशोधनको समयमा तापक्रम नियन्त्रणको शुद्धता सुधार गर्न सक्छ र सिलिकन वेफर्सको समान तताउने वा शीतलन सुनिश्चित गर्न सक्छ।

कम थर्मल विस्तार गुणांक: SiC सामग्रीको कम थर्मल विस्तार गुणांकको मतलब तापमान परिवर्तनको समयमा SiC वेफर डुङ्गाको आयामी परिवर्तन धेरै सानो हुन्छ। यसले उच्च-तापमान प्रशोधनको समयमा आयामी स्थिरता कायम राख्न मद्दत गर्दछ र थर्मल विस्तारको कारण सिलिकन वेफर्सको विरूपण वा स्थितिगत विस्थापनलाई रोक्छ।

तेर्सो SiC वेफर क्यारियरको आधारभूत भौतिक गुणहरू: