EPI प्राप्तकर्ता

VeTek सेमीकन्डक्टर एक पेशेवर नेता चीन EPI रिसीभर, ALD प्लानेटरी रिसीभर, TaC लेपित ग्रेफाइट रिसीभर निर्माता हो।

VeTek सेमीकन्डक्टरको EPI ससेप्टर अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा epitaxial वृद्धि को एक महत्वपूर्ण घटक हो। यसको मुख्य कार्य वेफरलाई समर्थन र तताउनु हो ताकि वेफर सतहमा उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल तह समान रूपमा बढ्न सकिन्छ।

VeTek सेमीकन्डक्टरको EPI ससेप्टरहरू सामान्यतया उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटबाट बनेका हुन्छन् र सिलिकन कार्बाइड (SiC) को तहले लेपित हुन्छन्। यस डिजाइनमा निम्न मुख्य फाइदाहरू छन्:

उच्च तापमान स्थिरता: EPI ससेप्टर उच्च तापमान वातावरणमा स्थिर रहन सक्छ, एपिटेक्सियल तहको समान वृद्धि सुनिश्चित गर्दै।

जंग प्रतिरोध: SiC कोटिंगमा उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध छ र ट्रेको सेवा जीवन विस्तार गर्दै रासायनिक ग्याँसहरूको क्षरणलाई प्रतिरोध गर्न सक्छ।

थर्मल चालकता: SiC सामग्रीको उच्च थर्मल चालकताले तताउने क्रममा वेफरको समान तापक्रम वितरण सुनिश्चित गर्दछ, जसले गर्दा एपिटेक्सियल तहको गुणस्तर सुधार गर्दछ।

थर्मल विस्तार गुणांक मिलान: SiC को थर्मल विस्तार गुणांक ग्रेफाइट जस्तै छ, थर्मल विस्तार र संकुचन को कारण कोटिंग शेडिंग को समस्या को बेवास्ता।

को आधारभूत भौतिक गुणहरूEPI प्राप्तकर्ता:

CVD SiC कोटिंग उत्पादन पसल:

अर्धचालक चिप epitaxy उद्योग श्रृंखला को सिंहावलोकन: