VeTek सेमीकन्डक्टरको CVD TaC कोटिंग क्यारियर मुख्यतया अर्धचालक निर्माणको एपिटेक्सियल प्रक्रियाको लागि डिजाइन गरिएको हो। CVD TaC कोटिंग क्यारियरको अल्ट्रा-उच्च पिघलने बिन्दु, उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध, र उत्कृष्ट थर्मल स्थिरताले सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सियल प्रक्रियामा यो उत्पादनको अपरिहार्यता निर्धारण गर्दछ। हामी तपाईंसँग दीर्घकालीन व्यापार सम्बन्ध निर्माण गर्ने ईमानदारीपूर्वक आशा गर्दछौं।
VeTek सेमीकन्डक्टर एक पेशेवर नेता चीन CVD TaC कोटिंग वाहक, EPITAXY SUSCEPTOR,TaC लेपित ग्रेफाइट रिसीभरनिर्माता।
निरन्तर प्रक्रिया र सामग्री नवाचार अनुसन्धान मार्फत, Vetek सेमीकन्डक्टरको CVD TaC कोटिंग क्यारियरले epitaxial प्रक्रियामा धेरै महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ, मुख्य रूपमा निम्न पक्षहरू समावेश गर्दछ:
सब्सट्रेट संरक्षण: CVD TaC कोटिंग वाहकले उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता र थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ, प्रभावकारी रूपमा उच्च तापक्रम र संक्षारक ग्यासहरूलाई सब्सट्रेट र रिएक्टरको भित्री पर्खाललाई नष्ट गर्नबाट रोक्न, प्रक्रिया वातावरणको शुद्धता र स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ।
थर्मल एकरूपता: CVD TaC कोटिंग क्यारियरको उच्च थर्मल चालकतासँग मिलाएर, यसले रिएक्टर भित्र तापक्रम वितरणको एकरूपता सुनिश्चित गर्दछ, क्रिस्टल गुणस्तर र एपिटेक्सियल तहको मोटाई एकरूपतालाई अनुकूलन गर्दछ, र अन्तिम उत्पादनको प्रदर्शन स्थिरता बढाउँछ।
कण प्रदूषण नियन्त्रण: CVD TaC लेपित वाहकहरूसँग अत्यन्त कम कण उत्पादन दरहरू भएकाले, चिल्लो सतह गुणहरूले कण प्रदूषणको जोखिमलाई उल्लेखनीय रूपमा कम गर्छ, जसले गर्दा एपिटेक्सियल वृद्धिको समयमा शुद्धता र उत्पादनमा सुधार हुन्छ।
विस्तारित उपकरण जीवन: CVD TaC कोटिंग क्यारियरको उत्कृष्ट पहिरन प्रतिरोध र जंग प्रतिरोधको साथ संयुक्त, यसले प्रतिक्रिया कक्ष कम्पोनेन्टहरूको सेवा जीवनलाई उल्लेखनीय रूपमा विस्तार गर्दछ, उपकरण डाउनटाइम र मर्मत लागत घटाउँछ, र उत्पादन दक्षता सुधार गर्दछ।
माथिका विशेषताहरू संयोजन गर्दै, VeTek सेमीकन्डक्टरको CVD TaC कोटिंग क्यारियरले एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियामा प्रक्रियाको विश्वसनीयता र उत्पादनको गुणस्तर मात्र सुधार गर्दैन, तर अर्धचालक निर्माणको लागि लागत-प्रभावी समाधान पनि प्रदान गर्दछ।
माइक्रोस्कोपिक क्रस खण्डमा ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग:
CVD TaC कोटिंग क्यारियरको भौतिक गुणहरू:
TaC कोटिंग को भौतिक गुण |
|
घनत्व |
14.3 (g/cm³) |
विशिष्ट उत्सर्जन |
0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक |
६.३*१०-६/के |
कठोरता (HK) |
2000 HK |
प्रतिरोध |
1×10-५ओम* सेमी |
थर्मल स्थिरता |
<2500℃ |
ग्रेफाइट आकार परिवर्तन |
-10~-20um |
कोटिंग मोटाई |
≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |
VeTek सेमीकन्डक्टर CVD SiC कोटिंग उत्पादन पसल: