VeTek सेमीकन्डक्टरले TaC कोटिंग ससेप्टर प्रस्तुत गर्दछ, यसको असाधारण TaC कोटिंगको साथ, यो ससेप्टरले धेरै फाइदाहरू प्रदान गर्दछ जसले यसलाई परम्परागत समाधानहरूबाट अलग सेट गर्दछ। अवस्थित प्रणालीहरूमा निर्बाध रूपमा एकीकृत गर्दै, VeTek सेमीकन्डक्टरबाट TaC कोटिंग ससेप्टरले अनुकूलता र कुशल सञ्चालनको ग्यारेन्टी दिन्छ। यसको भरपर्दो कार्यसम्पादन र उच्च गुणस्तरको TaC कोटिंगले SiC epitaxy प्रक्रियाहरूमा निरन्तर रूपमा असाधारण परिणामहरू दिन्छ। हामी प्रतिस्पर्धी मूल्यहरूमा गुणस्तरीय उत्पादनहरू उपलब्ध गराउन प्रतिबद्ध छौं र चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार हुन तत्पर छौं।
VeTek सेमीकन्डक्टरको TaC लेपित ससेप्टर र रिंगले LPE सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सियल ग्रोथ रिएक्टरमा सँगै काम गर्दछ:
उच्च-तापमान प्रतिरोध: TaC कोटिंग ससेप्टरमा उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध छ, LPE रिएक्टरमा 1500°C सम्म चरम तापक्रम सामना गर्न सक्षम छ। यसले सुनिश्चित गर्दछ कि उपकरण र कम्पोनेन्टहरू विकृत हुँदैनन् वा दीर्घकालीन सञ्चालनको क्रममा क्षतिग्रस्त हुँदैनन्।
रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंग ससेप्टरले संक्षारक सिलिकन कार्बाइड वृद्धि वातावरणमा असाधारण रूपमा राम्रो प्रदर्शन गर्दछ, प्रभावकारी रूपमा रिएक्टर घटकहरूलाई संक्षारक रासायनिक आक्रमणबाट बचाउँछ, जसले गर्दा तिनीहरूको सेवा जीवन विस्तार हुन्छ।
थर्मल स्थिरता: TaC कोटिंग ससेप्टरसँग राम्रो थर्मल स्थिरता छ, रिएक्टरमा तापक्रम क्षेत्रको एकरूपता सुनिश्चित गर्न सतह मोर्फोलोजी र नरमपन कायम राख्छ, जुन सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सियल तहहरूको उच्च-गुणस्तरको वृद्धिको लागि लाभदायक हुन्छ।
एन्टी-कन्टामिनेशन: चिकनी TaC लेपित सतह र उच्च TPD (तापमान प्रोग्राम गरिएको डिसोर्प्शन) प्रदर्शनले रिएक्टर भित्र कणहरू र अशुद्धताहरूको संचय र अवशोषणलाई कम गर्न सक्छ, एपिटेक्सियल तहहरूको प्रदूषणलाई रोक्न सक्छ।
सारांशमा, TaC लेपित ससेप्टर र औंठीले LPE सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सियल ग्रोथ रिएक्टरमा महत्वपूर्ण सुरक्षात्मक भूमिका खेल्छ, जसले उपकरणको दीर्घकालीन स्थिर सञ्चालन र एपिटेक्सियल तहहरूको उच्च-गुणस्तर वृद्धि सुनिश्चित गर्दछ।
TaC कोटिंग को भौतिक गुण | |
घनत्व | 14.3 (g/cm³) |
विशिष्ट उत्सर्जन | 0.3 |
थर्मल विस्तार गुणांक | ६.३ १०-६/के |
कठोरता (HK) | 2000 HK |
प्रतिरोध | १×१०-५ ओम* सेमी |
थर्मल स्थिरता | <2500℃ |
ग्रेफाइट आकार परिवर्तन | -10~-20um |
कोटिंग मोटाई | ≥20um विशिष्ट मान (35um±10um) |