TaC कोटिंग प्लानेटरी ससेप्टर

VeTek Semiconductor'TaC कोटिंग प्लानेटरी ससेप्टर Aixtron epitaxy उपकरणको लागि एक असाधारण उत्पादन हो। बलियो TaC कोटिंगले उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध र रासायनिक जडता प्रदान गर्दछ। यो अद्वितीय संयोजनले भरपर्दो कार्यसम्पादन र लामो सेवा जीवन सुनिश्चित गर्दछ, माग वातावरणमा पनि। VeTek उच्च गुणस्तरका उत्पादनहरू उपलब्ध गराउन र चिनियाँ बजारमा प्रतिस्पर्धी मूल्य निर्धारणका साथ दीर्घकालीन साझेदारको रूपमा सेवा गर्न प्रतिबद्ध छ।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

अर्धचालक निर्माणको क्षेत्रमा, TaC कोटिंग प्लानेटरी ससेप्टरले महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। यो व्यापक रूपमा Aixtron G5 प्रणाली जस्ता उपकरणहरूमा सिलिकन कार्बाइड (SiC) एपिटेक्सियल तहहरूको वृद्धिमा प्रयोग गरिन्छ। यसबाहेक, जब SiC एपिटेक्सीको लागि ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग डिपोजिसनमा बाहिरी डिस्कको रूपमा प्रयोग गरिन्छ, TaC कोटिंग प्लानेटरी ससेप्टरले आवश्यक समर्थन र स्थिरता प्रदान गर्दछ। यसले ट्यान्टलम कार्बाइड तहको एकसमान जम्मा सुनिश्चित गर्दछ, उत्कृष्ट सतह मोर्फोलोजी र इच्छित फिल्म मोटाईको साथ उच्च-गुणस्तरको एपिटेक्सियल तहहरूको गठनमा योगदान पुर्‍याउँछ। TaC कोटिंगको रासायनिक जडताले अनावश्यक प्रतिक्रियाहरू र प्रदूषणलाई रोक्छ, एपिटेक्सियल तहहरूको अखण्डता कायम राख्छ र तिनीहरूको उच्च गुणस्तर सुनिश्चित गर्दछ।

TaC कोटिंगको असाधारण थर्मल चालकताले कुशल ताप स्थानान्तरणलाई सक्षम बनाउँछ, समान तापमान वितरणलाई बढावा दिन्छ र एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियाको समयमा थर्मल तनाव कम गर्दछ। यसले सुधारिएको क्रिस्टलोग्राफिक गुणहरू र वर्धित विद्युतीय चालकताको साथ उच्च-गुणस्तरको SiC एपिटेक्सियल तहहरूको उत्पादनमा परिणाम दिन्छ।

TaC कोटिंग प्लानेटरी डिस्कको सटीक आयाम र बलियो निर्माणले यसलाई विद्यमान प्रणालीहरूमा एकीकृत गर्न सजिलो बनाउँछ, निर्बाध अनुकूलता र कुशल सञ्चालन सुनिश्चित गर्दै। यसको भरपर्दो प्रदर्शन र उच्च-गुणस्तरको TaC कोटिंगले SiC epitaxy प्रक्रियाहरूमा लगातार र एकसमान नतिजाहरूमा योगदान पुर्‍याउँछ।

SiC epitaxy मा असाधारण प्रदर्शन र विश्वसनीयताको लागि VeTek सेमीकन्डक्टर र हाम्रो TaC कोटिंग प्लानेटरी डिस्कलाई विश्वास गर्नुहोस्। सेमीकन्डक्टर उद्योगमा प्राविधिक प्रगतिहरूको अग्रपङ्क्तिमा तपाईलाई स्थितिमा राख्दै हाम्रा नवीन समाधानहरूको फाइदाहरू अनुभव गर्नुहोस्।

TaC कोटिंग र SiC कोटिंग स्पेयर पार्ट्स हामी आपूर्ति गर्छौं:

TaC कोटिंग प्लानेटरी ससेप्टरको उत्पादन प्यारामिटर:

TaC कोटिंग को भौतिक गुण
घनत्व	14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	६.३ १०-६/के
कठोरता (HK)	2000 HK
प्रतिरोध	१×१०-५ ओम* सेमी
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइट आकार परिवर्तन	-10~-20um
कोटिंग मोटाई	≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)