TaC कोटिंग पेडेस्टल समर्थन प्लेट

VeTek सेमीकन्डक्टर चीन निर्माता र आपूर्तिकर्ता हो जसले मुख्य रूपमा CVD TaC कोटिंग ससेप्टरहरू, इनलेट रिंग, Wafer Chunck, TaC लेपित होल्डर, TaC कोटिंग पेडेस्टल सपोर्ट प्लेट धेरै वर्षको अनुभवको साथ उत्पादन गर्दछ। तपाईं संग व्यापार सम्बन्ध निर्माण गर्न आशा।

TaC सिरेमिकको पिघलने बिन्दु 3880 ℃ सम्म हुन्छ, उच्च कठोरता (Mohs कठोरता 9 ~ 10), ठूलो थर्मल चालकता (22W·m-1·K−1), ठूलो झुकाउने शक्ति (340 ~ 400MPa), र सानो थर्मल विस्तार हुन्छ। गुणांक (6.6×10−6K−1), र उत्कृष्ट थर्मोकेमिकल स्थिरता र उत्कृष्ट भौतिक गुणहरू देखाउनुहोस्। यसमा ग्रेफाइट र C/C कम्पोजिट सामग्रीहरूसँग राम्रो रासायनिक र मेकानिकल अनुकूलता छ, त्यसैले TaC कोटिंग व्यापक रूपमा एयरोस्पेस थर्मल संरक्षण, एकल क्रिस्टल वृद्धि र सेमीकन्डक्टर उद्योगमा Aixtron, LPE EPI रिएक्टर जस्ता एपिटेक्सियल रिएक्टरहरूमा प्रयोग गरिन्छ। TaC लेपित ग्रेफाइटमा बेयर स्टोन स्याही वा SiC लेपित ग्रेफाइट भन्दा राम्रो रासायनिक जंग प्रतिरोध छ, 2200° उच्च तापक्रममा स्थिर रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ, धेरै धातु तत्वहरूसँग प्रतिक्रिया गर्दैन, अर्धचालक एकल क्रिस्टल वृद्धिको तेस्रो पुस्ता हो, एपिटेक्सी र वेफर नक्काशी दृश्य। उत्कृष्ट प्रदर्शन कोटिंग को, उल्लेखनीय रूपमा तापमान र अशुद्धता नियन्त्रण को प्रक्रिया सुधार गर्न सक्छ, उच्च गुणस्तर सिलिकन कार्बाइड वेफर्स र सम्बन्धित epitaxial वेफर्स को तयारी। यो विशेष गरी MOCVD उपकरणहरूमा GaN वा AlN एकल क्रिस्टल र PVT उपकरणहरूमा SiC एकल क्रिस्टल बढाउनको लागि उपयुक्त छ, र एकल क्रिस्टलको गुणस्तर सुधारिएको छ।

TaC कोटिंग र SiC कोटिंग स्पेयर पार्ट्स हामीले गर्न सक्छौं:

TaC कोटिंग को प्यारामिटर:

औद्योगिक चेन:

उत्पादन पसल