TaC कोटिंग चक

VeTek सेमीकन्डक्टरको TaC कोटिंग चक SiC EPI प्रक्रियामा असाधारण परिणामहरू प्राप्त गर्नको लागि आदर्श समाधान हो। यसको TaC कोटिंग, उच्च-तापमान प्रतिरोध, र रासायनिक जडताको साथ, हाम्रो उत्पादनले तपाईंलाई सटीक र विश्वसनीयताका साथ उच्च-गुणस्तरको क्रिस्टलहरू उत्पादन गर्न सक्षम बनाउँछ। हामीलाई सोधपुछ गर्न स्वागत छ।

TaC (ट्यान्टलम कार्बाइड) सामान्यतया epitaxial उपकरण को आन्तरिक भाग को सतह कोट गर्न को लागी प्रयोग गरिन्छ। यसमा निम्न विशेषताहरू छन्:

● उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध: TaC कोटिंग्सले 2200°C सम्मको तापक्रमको सामना गर्न सक्छ, जसले तिनीहरूलाई एपिटाक्सियल प्रतिक्रिया कक्षहरू जस्ता उच्च तापक्रम वातावरणमा प्रयोग गर्नका लागि आदर्श बनाउँछ।

● उच्च कठोरता: TaC को कठोरता लगभग 2000 HK पुग्छ, जुन सामान्यतया प्रयोग हुने स्टेनलेस स्टील वा एल्युमिनियम मिश्र धातु भन्दा धेरै कडा हुन्छ, जसले सतहको पहिरनलाई प्रभावकारी रूपमा रोक्न सक्छ।

● बलियो रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंगले रासायनिक रूपमा संक्षारक वातावरणमा राम्रो प्रदर्शन गर्दछ र एपिटेक्सियल उपकरण घटकहरूको सेवा जीवनलाई धेरै विस्तार गर्न सक्छ।

● राम्रो विद्युत चालकता: TaC कोटिंगमा राम्रो विद्युतीय चालकता छ, जुन इलेक्ट्रोस्टेटिक रिलिज र गर्मी प्रवाहको लागि अनुकूल छ।

यी गुणहरूले TaC कोटिंगलाई महत्त्वपूर्ण भागहरू जस्तै आन्तरिक बुशिंगहरू, प्रतिक्रिया कक्ष पर्खालहरू, र एपिटेक्सियल उपकरणहरूको लागि तताउने तत्वहरू निर्माण गर्नको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँदछ। TaC को साथ यी कम्पोनेन्टहरू कोटिंग गरेर, epitaxial उपकरणको समग्र प्रदर्शन र सेवा जीवन सुधार गर्न सकिन्छ।

सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सीको लागि, TaC कोटिंग खण्डले पनि महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्न सक्छ। TaC को सतह कोटिंग चिल्लो र बाक्लो छ, जुन उच्च-गुणस्तरको सिलिकन कार्बाइड फिल्महरूको गठनको लागि अनुकूल छ। एकै समयमा, TaC को उत्कृष्ट थर्मल चालकताले उपकरण भित्र तापक्रम वितरणको एकरूपता सुधार गर्न मद्दत गर्न सक्छ, जसले गर्दा एपिटेक्सियल प्रक्रियाको तापक्रम नियन्त्रण शुद्धतामा सुधार हुन्छ, र अन्ततः उच्च गुणस्तरको सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सियल तह वृद्धि हासिल गर्न सकिन्छ।