TaC कोटिंग चक

VeTek सेमीकन्डक्टरको TaC कोटिंग चक SiC EPI प्रक्रियामा असाधारण परिणामहरू प्राप्त गर्नको लागि आदर्श समाधान हो। यसको TaC कोटिंग, उच्च-तापमान प्रतिरोध, र रासायनिक जडताको साथ, हाम्रो उत्पादनले तपाईंलाई सटीक र विश्वसनीयताका साथ उच्च-गुणस्तरको क्रिस्टलहरू उत्पादन गर्न सक्षम बनाउँछ। हामीलाई सोधपुछ गर्न स्वागत छ।

TaC (ट्यान्टलम कार्बाइड) सामान्यतया एपिटेक्सियल उपकरणको आन्तरिक भागहरूको सतह कोट गर्न प्रयोग गरिने सामग्री हो। यसमा निम्न विशेषताहरू छन्:

उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध: TaC कोटिंग्सले 2200 ° C सम्मको तापक्रमलाई सहन सक्छ, तिनीहरूलाई उच्च तापक्रम वातावरणमा एपिटेक्सियल प्रतिक्रिया कक्षहरू जस्तै अनुप्रयोगहरूको लागि आदर्श बनाउँछ।

उच्च कठोरता: TaC को कठोरता लगभग 3000-4000 HV सम्म पुग्छ, जुन सामान्यतया प्रयोग हुने स्टेनलेस स्टील वा एल्युमिनियम मिश्र धातु भन्दा धेरै कडा हुन्छ, जसले सतहको पहिरनलाई प्रभावकारी रूपमा रोक्न सक्छ।

बलियो रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंगले रासायनिक रूपमा संक्षारक वातावरणमा राम्रो प्रदर्शन गर्दछ र एपिटेक्सियल उपकरण घटकहरूको सेवा जीवनलाई धेरै विस्तार गर्न सक्छ।

राम्रो विद्युतीय चालकता: TaC कोटिंगमा राम्रो विद्युतीय चालकता छ, जुन इलेक्ट्रोस्ट्याटिक रिलीज र गर्मी प्रवाहको लागि अनुकूल छ।

यी गुणहरूले TaC कोटिंगलाई महत्त्वपूर्ण भागहरू जस्तै आन्तरिक बुशिंगहरू, प्रतिक्रिया कक्ष पर्खालहरू, र एपिटेक्सियल उपकरणहरूको लागि तताउने तत्वहरू निर्माण गर्नको लागि एक आदर्श सामग्री बनाउँदछ। TaC को साथ यी कम्पोनेन्टहरू कोटिंग गरेर, epitaxial उपकरणको समग्र प्रदर्शन र सेवा जीवन सुधार गर्न सकिन्छ।

सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सीको लागि, TaC कोटिंग खण्डले पनि महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्न सक्छ। TaC कोटिंगको सतह चिल्लो र बाक्लो छ, जुन उच्च-गुणस्तरको सिलिकन कार्बाइड फिल्महरूको गठनको लागि अनुकूल छ। एकै समयमा, TaC को उत्कृष्ट थर्मल चालकताले उपकरण भित्र तापक्रम वितरणको एकरूपता सुधार गर्न मद्दत गर्न सक्छ, जसले गर्दा epitaxial प्रक्रियाको तापक्रम नियन्त्रण शुद्धतामा सुधार हुन्छ, र अन्ततः उच्च गुणस्तरको सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सियल तह वृद्धि हासिल गर्न सकिन्छ।

TaC कोटिंग खण्डको उत्पादन प्यारामिटर:

औद्योगिक चेन:

उत्पादन पसल