VeTek Semiconductor मा स्वागत छ, तपाइँको CVD SiC कोटिंग्स को विश्वसनीय निर्माता। हामी Aixtron SiC कोटिंग कलेक्टर शीर्ष प्रदान गर्न पाउँदा गर्व गर्छौं, जुन उच्च शुद्धता ग्रेफाइट प्रयोग गरेर कुशलतापूर्वक ईन्जिनियर गरिएको छ र 5ppm भन्दा कम अशुद्धता सहितको अत्याधुनिक CVD SiC कोटिंग फिचर गर्दछ। कृपया कुनै पनि प्रश्न वा सोधपुछको साथ हामीलाई सम्पर्क गर्न नहिचकिचाउनुहोस्
उत्पादन TaC कोटिंग र SiC कोटिंगमा वर्षौंको अनुभवको साथ, VeTek सेमीकन्डक्टरले Aixtron प्रणालीको लागि SiC कोटिंग कलेक्टर शीर्ष, कलेक्टर केन्द्र, कलेक्टर तलको विस्तृत श्रृंखला आपूर्ति गर्न सक्छ। उच्च गुणस्तरको SiC कोटिंग कलेक्टर शीर्षले धेरै अनुप्रयोगहरू पूरा गर्न सक्छ, यदि तपाईंलाई आवश्यक छ भने, कृपया SiC कोटिंग कलेक्टर शीर्षको बारेमा हाम्रो अनलाइन समयमै सेवा प्राप्त गर्नुहोस्। तलको उत्पादन सूचीको अतिरिक्त, तपाइँ तपाइँको विशेष आवश्यकताहरु अनुसार तपाइँको आफ्नै अद्वितीय SiC कोटिंग कलेक्टर शीर्ष अनुकूलन गर्न सक्नुहुन्छ।
SiC कोटिंग कलेक्टर शीर्ष, SiC कोटिंग कलेक्टर केन्द्र, र SiC कोटिंग कलेक्टर तल सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियामा प्रयोग हुने तीन आधारभूत कम्पोनेन्टहरू हुन्। प्रत्येक उत्पादनलाई अलग-अलग छलफल गरौं:
VeTek सेमीकन्डक्टर SiC कोटिंग कलेक्टर शीर्ष अर्धचालक जमा प्रक्रिया मा एक महत्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। यसले जम्मा गरिएको सामग्रीको लागि समर्थन संरचनाको रूपमा कार्य गर्दछ, जम्मा गर्दा एकरूपता र स्थिरता कायम राख्न मद्दत गर्दछ। यसले थर्मल व्यवस्थापनमा पनि एड्स गर्छ, प्रभावकारी रूपमा प्रक्रियाको समयमा उत्पन्न गर्मीलाई नष्ट गर्दछ। कलेक्टरको शीर्षले जम्मा गरिएको सामग्रीको सही व्यवस्था र वितरण सुनिश्चित गर्दछ, परिणामस्वरूप उच्च-गुणस्तर र लगातार फिल्म वृद्धि हुन्छ।
कलेक्टर शीर्ष, कलेक्टर केन्द्र, कलेक्टर तल मा SiC कोटिंग उल्लेखनीय रूपमा तिनीहरूको प्रदर्शन र स्थायित्व सुधार गर्दछ। SiC (सिलिकन कार्बाइड) कोटिंग यसको उत्कृष्ट थर्मल चालकता, रासायनिक जडता र जंग प्रतिरोध को लागी परिचित छ। कलेक्टरको माथि, केन्द्र र तलको SiC कोटिंगले उत्कृष्ट थर्मल व्यवस्थापन क्षमताहरू प्रदान गर्दछ, कुशल तातो अपव्यय सुनिश्चित गर्दै र इष्टतम प्रक्रिया तापमान कायम राख्छ। यसमा उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध पनि छ, कम्पोनेन्टहरूलाई संक्षारक वातावरणबाट बचाउँछ र तिनीहरूको सेवा जीवन विस्तार गर्दछ। SiC कोटिंग्सका गुणहरूले अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाहरूको स्थिरता सुधार गर्न, दोषहरू कम गर्न र फिल्मको गुणस्तर सुधार गर्न मद्दत गर्दछ।
CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण | |
सम्पत्ति | सामान्य मान |
क्रिस्टल संरचना | FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख |
घनत्व | ३.२१ ग्राम/सेमी³ |
कठोरता | 2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड) |
अनाज साइज | 2~10μm |
रासायनिक शुद्धता | ९९.९९९९५% |
गर्मी क्षमता | 640 J·kg-1·K-1 |
उदात्तीकरण तापमान | 2700 ℃ |
फ्लेक्सरल शक्ति | 415 MPa RT 4-बिन्दु |
युवाको मोडुलस | 430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃ |
थर्मल चालकता | 300W·m-1·K-1 |
थर्मल विस्तार (CTE) | 4.5×10-6K-1 |