2024-11-22
CVD Tantalum कार्बाइड कोटिंगउच्च शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेटको सतहमा ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) को वाष्प निक्षेप द्वारा VeTek सेमीकन्डक्टरको स्वामित्वमा रहेको रासायनिक भाप निक्षेप (CVD) प्रक्रिया प्रयोग गरेर उत्पादन गरिन्छ।
ट्यान्टलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग्सले सेवा जीवनमा उल्लेखनीय सुधार गर्दछग्रेफाइट भागहरूधेरै संयन्त्रहरू मार्फत, विशेष गरी उच्च-तापमानमा, उच्च संक्षारक वातावरणहरू जस्तै अर्धचालक निर्माण र क्रिस्टल वृद्धि।
यहाँ विशेष कारणहरू छन्TaC कोटिंग्सग्रेफाइट भागहरूको स्थायित्व बढाउनुहोस्:
● सुधारिएको उच्च तापक्रम प्रतिरोध
अत्यधिक उच्च थर्मल स्थिरता: TaC कोटिंग्स 2000 डिग्री सेल्सियस भन्दा बढी उच्च तापमानमा स्थिर रहन सक्षम छन् र 2200C मा पनि प्रभावकारी रूपमा काम गर्न सक्छ। यो उच्च तापक्रम सहिष्णुताले कोटिंगलाई अर्धचालक निर्माणको क्रममा पिघलाएका धातुहरू र रासायनिक ग्याँसहरूको क्षरणको सामना गर्न अनुमति दिन्छ, जसले गर्दा ग्रेफाइट भागहरूको सेवा जीवन विस्तार हुन्छ।
● उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध
रासायनिक क्षरण प्रतिरोध: TaC कोटिंग्समा हाइड्रोजन, अमोनिया, र सिलिकन वाष्प जस्ता संक्षारक ग्यासहरूको कडा प्रतिरोध हुन्छ, जसले प्रभावकारी रूपमा यी ग्यासहरूलाई ग्रेफाइट सब्सट्रेटलाई क्षरण गर्नबाट रोक्न र कठोर वातावरणमा ग्रेफाइट भागहरूमा हुने क्षतिको जोखिम कम गर्न सक्छ। यसको मतलब क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रियाको समयमा, कोटिंगले अशुद्धता माइग्रेसनलाई रोक्न सक्छ र क्रिस्टल गुणस्तर र उपज सुधार गर्न सक्छ।
● परिष्कृत मेकानिकल गुणहरू
राम्रो आसंजन र थर्मल झटका प्रतिरोध: TaC कोटिंग्समा ग्रेफाइट सब्सट्रेटमा बलियो टाँसिएको हुन्छ, यो सुनिश्चित गर्दै कि कोटिंग उच्च-तापमान सञ्चालनको क्रममा छील्ने वा डिलामिनेट हुँदैन। थप रूपमा, यसको उत्कृष्ट थर्मल झटका प्रतिरोधले ग्रेफाइट भागहरूको सेवा जीवनलाई थप विस्तार गर्दै, क्र्याक वा पिलिङ्ग बिना द्रुत तापमान परिवर्तनहरूको सामना गर्न सक्छ।
● अशुद्धता प्रदूषण कम गर्नुहोस्
अति-उच्च शुद्धता: TaC कोटिंग्समा अत्यन्त कम अशुद्धता सामग्री हुन्छ, जसले उच्च तापमान अवस्थाहरूमा हुन सक्ने प्रदूषण समस्याहरू कम गर्न मद्दत गर्दछ। अनावश्यक अशुद्धताहरूलाई एपिटेक्सियल तहमा माइग्रेट गर्नबाट रोकेर, TaC कोटिंग्सले क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रियाको शुद्धता र गुणस्तरमा उल्लेखनीय सुधार गर्छ।
● थर्मल व्यवस्थापनलाई अनुकूलन गर्नुहोस्
थर्मल चालकता र प्रतिरोधात्मकता सुधार गर्नुहोस्: TaC कोटिंग्समा अपेक्षाकृत कम थर्मल चालकता र प्रतिरोधात्मकता छ, जसले हीटर र अन्य थर्मल व्यवस्थापन घटकहरूमा यसको प्रयोगलाई ऊर्जा दक्षता सुधार गर्न र ऊर्जा हानि कम गर्न सक्षम बनाउँछ। यो सुविधाले अपरेटिङ दक्षता मात्र सुधार गर्दैन, तर सामाग्रीको थकान र ओभरहेटिंगको कारण हुने क्षतिलाई पनि कम गर्छ।