अर्धचालक क्षेत्रमा TaC लेपित भागहरूको विशिष्ट अनुप्रयोग के हो?

ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग को भौतिक गुण

अर्धचालक क्षेत्रमा ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग को आवेदन

1. एपिटेक्सियल वृद्धि रिएक्टर घटक

TaC कोटिंग व्यापक रूपमा ग्यालियम नाइट्राइड (GaN) र सिलिकन कार्बाइड (SiC) को epitaxial रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) रिएक्टर घटकहरूमा प्रयोग गरिन्छ।वेफर वाहकहरू, स्याटेलाइट डिश, नोजल र सेन्सरहरू। यी घटकहरूलाई उच्च तापमान र संक्षारक वातावरणमा अत्यधिक उच्च स्थायित्व र स्थिरता चाहिन्छ। TaC कोटिंगले प्रभावकारी रूपमा तिनीहरूको सेवा जीवन विस्तार गर्न र उपज सुधार गर्न सक्छ।

2. एकल क्रिस्टल वृद्धि घटक

SiC, GaN र एल्युमिनियम नाइट्राइड (AIN) जस्ता सामग्रीहरूको एकल क्रिस्टल वृद्धि प्रक्रियामा,TaC कोटिंगक्रुसिबल, सीड क्रिस्टल होल्डर, गाईड रिङ् र फिल्टर जस्ता मुख्य कम्पोनेन्टहरूमा लागू हुन्छ। TaC कोटिंग भएको ग्रेफाइट सामग्रीले अशुद्धता माइग्रेसन कम गर्न, क्रिस्टल गुणस्तर सुधार गर्न र दोष घनत्व कम गर्न सक्छ।

3. उच्च तापमान औद्योगिक घटक

TaC कोटिंग उच्च तापक्रम औद्योगिक अनुप्रयोगहरूमा पनि प्रयोग गर्न सकिन्छ जस्तै प्रतिरोधी तताउने तत्वहरू, इंजेक्शन नोजलहरू, शिल्डिङ रिंगहरू र ब्रेजिङ फिक्स्चरहरू। यी कम्पोनेन्टहरूले उच्च-तापमान वातावरणमा राम्रो प्रदर्शन कायम राख्न आवश्यक छ, र TaC को ताप प्रतिरोध र जंग प्रतिरोधले यसलाई एक आदर्श विकल्प बनाउँछ।

4. MOCVD प्रणालीहरूमा हीटरहरू

TaC-लेपित ग्रेफाइट हीटरहरू सफलतापूर्वक धातु जैविक रासायनिक वाष्प निक्षेप (MOCVD) प्रणालीहरूमा प्रस्तुत गरिएको छ। परम्परागत pBN-कोटेड हीटरको तुलनामा, TaC हीटरहरूले राम्रो दक्षता र एकरूपता प्रदान गर्न सक्छ, बिजुली खपत घटाउन सक्छ, र सतह उत्सर्जन घटाउन सक्छ, जसले गर्दा अखण्डतामा सुधार हुन्छ।

5. वेफर वाहकहरू

TaC लेपित वेफर वाहकहरूले SiC, AIN र GaN जस्ता तेस्रो पुस्ताको अर्धचालक सामग्रीको तयारीमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छन्। अध्ययनले देखाएको छ कि जंग दरTaC कोटिंग्सउच्च तापक्रममा अमोनिया र हाइड्रोजन वातावरणको तुलनामा धेरै कम हुन्छSiC कोटिंग्स, जसले यसलाई दीर्घकालीन प्रयोगमा राम्रो स्थिरता र स्थायित्व देखाउँछ।