CVD TAC कोटिंग

VeTek सेमीकन्डक्टर चीनमा CVD TAC कोटिंगको अग्रणी निर्माता, आविष्कारक र नेता हो। धेरै वर्षदेखि, हामीले CVD TaC कोटिंग कभर, CVD TaC कोटिंग रिंग, CVD TaC कोटिंग क्यारियर, आदि जस्ता विभिन्न CVD TAC कोटिंग उत्पादनहरूमा ध्यान केन्द्रित गर्दै आएका छौं। VeTek सेमीकन्डक्टरले अनुकूलित उत्पादन सेवाहरू र सन्तोषजनक उत्पादन मूल्यहरूलाई समर्थन गर्दछ, र तपाईंको थपको लागि तत्पर छ। परामर्श।

सोधपुछ पठाउनुहोस्

उत्पादन विवरण

CVD TaC कोटिंग (रासायनिक वाष्प निक्षेप ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंग) मुख्यतया ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) बाट बनेको कोटिंग उत्पादन हो। TaC कोटिंगमा अत्यन्त उच्च कठोरता, पहिरन प्रतिरोध, र उच्च तापमान प्रतिरोध छ, यसले मुख्य उपकरण कम्पोनेन्टहरू सुरक्षित गर्न र प्रक्रियाको विश्वसनीयता सुधार गर्नको लागि एक आदर्श विकल्प बनाउँछ। यो अर्धचालक प्रशोधन मा एक अपरिहार्य सामाग्री हो।

CVD TaC कोटिंग उत्पादनहरू सामान्यतया प्रतिक्रिया कक्षहरू, वेफर क्यारियरहरू, र नक्काशी उपकरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ, र तिनीहरूमा निम्न मुख्य भूमिकाहरू खेल्छन्।

CVD TaC कोटिंग प्रायः प्रतिक्रिया कक्षहरूको आन्तरिक घटकहरू जस्तै सब्सट्रेटहरू, भित्ता प्यानलहरू, र तताउने तत्वहरूको लागि प्रयोग गरिन्छ। यसको उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोधको साथ संयुक्त, यसले प्रभावकारी रूपमा उच्च तापमान, संक्षारक ग्याँस र प्लाज्माको क्षरण प्रतिरोध गर्न सक्छ, जसले गर्दा प्रभावकारी रूपमा उपकरणको सेवा जीवन विस्तार गर्न र प्रक्रियाको स्थिरता र उत्पादन उत्पादनको शुद्धता सुनिश्चित गर्दछ।

थप रूपमा, TaC-लेपित वेफर वाहकहरू (जस्तै क्वार्ट्ज डुङ्गाहरू, फिक्स्चरहरू, इत्यादि) मा पनि उत्कृष्ट गर्मी प्रतिरोध र रासायनिक जंग प्रतिरोध छ। वेफर क्यारियरले उच्च तापक्रममा वेफरको लागि भरपर्दो समर्थन प्रदान गर्न सक्छ, वेफर प्रदूषण र विकृतिलाई रोक्न सक्छ, र यसरी समग्र चिप उपजमा सुधार गर्दछ।

यसबाहेक, VeTek सेमीकन्डक्टरको TaC कोटिंग विभिन्न नक्काशी र पातलो फिल्म डिपोजिसन उपकरणहरूमा पनि व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जस्तै प्लाज्मा एचर, रासायनिक वाष्प निक्षेप प्रणाली, आदि। यी प्रशोधन प्रणालीहरूमा, CVD TAC कोटिंगले उच्च-ऊर्जा आयन बमबारी र कडा रासायनिक प्रतिक्रियाहरू सामना गर्न सक्छ। , यसैले प्रक्रिया को शुद्धता र दोहोरिने योग्यता सुनिश्चित।

तपाईंको विशेष आवश्यकताहरू जे भए पनि, हामी तपाईंको CVD TAC कोटिंग आवश्यकताहरूको लागि उत्तम समाधानसँग मेल खानेछौं र कुनै पनि समयमा तपाईंको परामर्शको लागि तत्पर हुनेछौं।

CVD TAC कोटिंगको आधारभूत भौतिक गुणहरू:

TaC कोटिंग को भौतिक गुण
घनत्व	14.3 (g/cm³)
विशिष्ट उत्सर्जन	0.3
थर्मल विस्तार गुणांक	६.३ १०-६/के
कठोरता (HK)	2000 HK
प्रतिरोध	१×१०-५ ओम* सेमी
थर्मल स्थिरता	<2500℃
ग्रेफाइट आकार परिवर्तन	-10~-20um
कोटिंग मोटाई	≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)