Aixtron MOCVD रिसेप्टर

Susceptors द्वारा उत्पादितVetek अर्धचालकग्रेफाइट सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग सामग्रीबाट बनेको छ। उच्च पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध र SiC सामग्री को अत्यधिक उच्च कठोरता दिए, यो कठोर प्रक्रिया वातावरण मा प्रयोग को लागी विशेष गरी उपयुक्त छ। तसर्थ, भेटेक सेमीकन्डक्टर द्वारा उत्पादित ससेप्टरहरू उच्च-तापमान MOCVD प्रक्रियाहरूमा अतिरिक्त सतह उपचार बिना नै प्रयोग गर्न सकिन्छ।

ससेप्टरहरू सेमीकन्डक्टर निर्माणमा मुख्य कम्पोनेन्टहरू हुन्, विशेष गरी पातलो फिल्म डिपोजिसन प्रक्रियाहरूको लागि MOCVD उपकरणहरूमा। को मुख्य भूमिका छAixtron SiC रिसीभरMOCVD प्रक्रियामा अर्धचालक वेफरहरू बोक्ने, समान ताप वितरण र प्रतिक्रिया वातावरण प्रदान गरेर पातलो फिल्महरूको एकसमान र उच्च-गुणस्तरको भण्डारण सुनिश्चित गर्ने, जसले गर्दा उच्च-गुणस्तरको पातलो फिल्म उत्पादन हासिल गर्ने हो।

Aixtron MOCVD रिसेप्टरसामान्यतया सेमीकन्डक्टर वेफर्सको आधारलाई समर्थन र फिक्स गर्न प्रयोग गरिन्छ जसलाई डिपोजिसन प्रक्रियाको क्रममा वेफरको स्थिरता सुनिश्चित गर्न सकिन्छ। एकै समयमा, Aixtron MOCVD ससेप्टरको सतह कोटिंग सिलिकन कार्बाइड (SiC) बाट बनेको छ, एक उच्च थर्मली प्रवाहक सामग्री। SiC कोटिंगले वेफरको सतहमा समान तापक्रम सुनिश्चित गर्दछ, र उच्च-गुणस्तरको फिल्महरू प्राप्त गर्नको लागि समान तताउने आवश्यक छ।

यसबाहेक, दAixtron MOCVD रिसेप्टरहामीले सामग्रीको अनुकूलित डिजाइन मार्फत प्रतिक्रियाशील ग्यासहरूको प्रवाह र वितरणलाई नियन्त्रण गर्न ठूलो भूमिका खेल्छौं। एडी धाराहरू र तापक्रम ढाँचाहरू एकसमान फिल्म जम्मा प्राप्त गर्न बेवास्ता गर्नुहोस्।

अझ महत्त्वपूर्ण कुरा, MOCVD प्रक्रियामा, सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग सामग्रीमा जंग प्रतिरोध छ, त्यसैलेVetek अर्धचालककोAixtron MOCVD रिसेप्टरउच्च तापमान र संक्षारक ग्याँसहरू पनि सामना गर्न सक्छ।

को आधारभूत भौतिक गुणहरूSIC कोटिंग:

VeTek सेमीकन्डक्टर वेफर डुङ्गा पसलहरू:

अर्धचालक चिप एपिटेक्सी उद्योग श्रृंखला को सिंहावलोकन: