चीनमा CVD SiC प्यानकेक ससेप्टर उत्पादनहरूको एक अग्रणी निर्माता र आविष्कारकको रूपमा। VeTek Semiconductor CVD SiC Pancake Susceptor, अर्धचालक उपकरणहरूको लागि डिजाइन गरिएको डिस्क आकारको कम्पोनेन्टको रूपमा, उच्च-तापमान एपिटेक्सियल डिपोजिसनको समयमा पातलो सेमीकन्डक्टर वेफरहरूलाई समर्थन गर्ने मुख्य तत्व हो। VeTek Semiconductor उच्च गुणस्तरको SiC Pancake Susceptor उत्पादनहरू उपलब्ध गराउन र प्रतिस्पर्धी मूल्यहरूमा चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न प्रतिबद्ध छ।
VeTek अर्धचालक CVD SiC प्यानकेक ससेप्टर उत्कृष्ट स्थायित्व र चरम तापमान अनुकूलनता सुनिश्चित गर्न नवीनतम रासायनिक भाप निक्षेप (CVD) प्रविधि प्रयोग गरी निर्मित छ। यसको मुख्य भौतिक गुणहरू निम्न हुन्:
● थर्मल स्थिरता: CVD SiC को उच्च थर्मल स्थिरताले उच्च तापमान अवस्थाहरूमा स्थिर प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ।
● कम थर्मल विस्तार गुणांक: सामग्रीमा एकदमै कम थर्मल विस्तार गुणांक छ, जसले तापमान परिवर्तनको कारणले वार्पिङ र विकृतिलाई कम गर्छ।
● रासायनिक जंग प्रतिरोध: उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोधले यसलाई विभिन्न कठोर वातावरणमा उच्च प्रदर्शन कायम राख्न सक्षम बनाउँछ।
VeTekSemi को प्यानकेक ससेप्टर आधारित SiC लेपित सेमीकन्डक्टर वेफरहरू समायोजन गर्न र एपिटेक्सियल डिपोजिसनको समयमा उत्कृष्ट समर्थन प्रदान गर्न डिजाइन गरिएको हो। SiC प्यानकेक ससेप्टर विभिन्न तापक्रम र दबाब अवस्थाहरूमा वार्पिङ र विरूपणलाई कम गर्न उन्नत कम्प्युटेशनल सिमुलेशन प्रविधि प्रयोग गरी डिजाइन गरिएको हो। यसको विशिष्ट थर्मल विस्तार गुणांक लगभग 4.0 × 10^ छ-६/°C, जसको मतलब यो हो कि यसको आयामी स्थिरता उच्च-तापमान वातावरणमा परम्परागत सामग्रीहरू भन्दा उल्लेखनीय रूपमा राम्रो छ, जसले गर्दा वेफर मोटाई (सामान्यतया 200 मिमी देखि 300 मिमी) को स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ।
थप रूपमा, CVD प्यानकेक ससेप्टरले 120 W/m·K सम्मको थर्मल चालकताको साथ ताप स्थानान्तरणमा उत्कृष्ट हुन्छ। यो उच्च थर्मल चालकताले छिट्टै र प्रभावकारी रूपमा ताप सञ्चालन गर्न सक्छ, भट्टी भित्र तापक्रम एकरूपता बढाउन सक्छ, एपिटेक्सियल डिपोजिसनको समयमा समान ताप वितरण सुनिश्चित गर्न सक्छ, र असमान गर्मीको कारणले निक्षेप दोषहरू कम गर्न सक्छ। अप्टिमाइज गरिएको गर्मी स्थानान्तरण प्रदर्शन निक्षेप गुणस्तर सुधार गर्न महत्वपूर्ण छ, जसले प्रभावकारी रूपमा प्रक्रियाको उतार-चढ़ाव कम गर्न र उपज सुधार गर्न सक्छ।
यी डिजाइन र प्रदर्शन अनुकूलनहरू मार्फत, VeTek सेमीकन्डक्टरको CVD SiC प्यानकेक ससेप्टरले अर्धचालक निर्माणको लागि ठोस आधार प्रदान गर्दछ, कठोर प्रशोधन अवस्थाहरूमा विश्वसनीयता र स्थिरता सुनिश्चित गर्दै र उच्च परिशुद्धता र गुणस्तरको लागि आधुनिक सेमीकन्डक्टर उद्योगको कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ।
CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण
सम्पत्ति
सामान्य मान
क्रिस्टल संरचना
FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख
घनत्व
३.२१ ग्राम/सेमी³
कठोरता
2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज साइज
2~10μm
रासायनिक शुद्धता
९९.९९९९५%
गर्मी क्षमता
640 J·kg-१· के-१
उदात्तीकरण तापमान
2700 ℃
फ्लेक्सरल शक्ति
415 MPa RT 4-बिन्दु
युवाको मोडुलस
430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता
300W·m-१· के-१
थर्मल विस्तार (CTE)
४.५ × १०-६K-१